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颜亨迪

作品数：8 被引量：5H指数：1
供职机构：电子工业部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 6篇电子电信

主题

  • 5篇离子注入
  • 4篇注入机
  • 4篇离子注入机
  • 2篇电子器件
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子器件
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体器件
  • 1篇电路
  • 1篇去离子
  • 1篇去离子水
  • 1篇可靠性
  • 1篇集成电路
  • 1篇SIMOX
  • 1篇硅
  • 1篇掺杂
  • 1篇超强

机构

  • 3篇电子工业部
  • 3篇电子部

作者

  • 6篇颜亨迪
  • 2篇杨洪普
  • 1篇刘湘德

传媒

  • 5篇微细加工技术
  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 3篇1995
  • 1篇1994
  • 1篇1993
  • 1篇1992
共 8 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
超强流氧离子注入机国内外现状及发展趋势被引量：1
1994年
本文概括介绍了超强流氧离子注入机的国内外现状及发展趋势，指出了国内在这一设备研制上的主要差距，对今后发展该设备提出自己的建议。
颜亨迪刘湘德
关键词：离子注入硅
离子注入机的国内外现状被引量：1
1992年
本文简要介绍了离子注入和器件的关系,概述了离子注入机的发展现状和趋势,初步探讨了我国离子注入机不能形成产业的原因。
杨洪普颜亨迪
关键词：离子注入离子注入机
国内离子注入机发展概况
1993年
本文简要介绍我国离子注入机的发展概况。
颜亨迪
关键词：离子注入机半导体器件掺杂
SIMOX的制备及其重要应用
1995年
本文介绍了注氧隔离（ＳＩＭＯＸ）的主要工艺设备及其在抗核加固、高温、高速等特种器件中的重要应用。
颜亨迪
关键词：集成电路微电子器件
离子注入机的去离子水冷却系统
1995年
本文介绍了在离子注入机上使用的去离子水冷却系统的结构、制水和使用效果。
颜亨迪
关键词：离子注入机去离子水半导体器件
国外离子注入机发展动态被引量：3
1995年
本文概述了微电子器件对离子注入机的需求，介绍了国外离子注入机发展现状和发展趋势。
杨洪普颜亨迪
关键词：离子注入机微电子器件可靠性
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