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廖温初

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文标准

主题

  • 1篇蚀刻
  • 1篇蚀刻机
  • 1篇注入机
  • 1篇离子
  • 1篇离子束
  • 1篇离子注入
  • 1篇离子注入机

机构

  • 2篇电子工业部

作者

  • 2篇廖温初
  • 1篇安志超
  • 1篇颜亨迪

年份

  • 2篇1995
共 6 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
离子注入机通用技术条件
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。　　本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其它离子注入机亦可参照使用。
颜亨迪廖温初
关键词：离子注入机
文献传递
离子束蚀刻机通用技术条件 被代替
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。 本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
安志超廖温初
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共1页<1>
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