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刘湘德

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：电子工业部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇离子注入
  • 2篇注入机
  • 2篇离子注入机
  • 1篇氧离子
  • 1篇砷化镓
  • 1篇强流离子注入...
  • 1篇强流氧离子注...
  • 1篇离子
  • 1篇硅
  • 1篇LC
  • 1篇超强

机构

  • 3篇电子工业部

作者

  • 3篇刘湘德
  • 1篇颜亨迪
  • 1篇张伟
  • 1篇王学思
  • 1篇李时俊
  • 1篇尹田华

传媒

  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇LSI制造与...

年份

  • 1篇2000
  • 1篇1996
  • 1篇1994
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
超强流氧离子注入机国内外现状及发展趋势被引量：1
1994年
本文概括介绍了超强流氧离子注入机的国内外现状及发展趋势，指出了国内在这一设备研制上的主要差距，对今后发展该设备提出自己的建议。
颜亨迪刘湘德
关键词：离子注入硅
LC-11型砷化镓专用强流离子注入机
刘湘德李时俊尹田华王学思张伟
LC-11型砷化镓专用强流离子注入机是电子工业部第四十八研究所于1996年研制成功的新型离子注入机。该机于1998年元月通过部级鉴定，是我国自行研制成功的第一台真正实用的强流离子注入机。其主要技术指标达到国外先进国家同类...
关键词：
关键词：离子注入机砷化镓
LC—13型强流氧离子注入机
1996年
强流氧离子注入机是用于研制开发ＳＩＭＯＸ材料所需的关键设备。该项目的研制具有一定的难度，在国内尚属首例。本文描述了ＬＣ－１３型强流氧离子注入机主要性能指标及技术难点。
刘湘德
关键词：离子注入氧离子注入机
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共1页<1>
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