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杨洪普

作品数：3 被引量：4H指数：1
供职机构：中华人民共和国工业和信息化部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇注入机
  • 3篇离子注入
  • 3篇离子注入机
  • 2篇微电子
  • 1篇电子器件
  • 1篇微电子技术
  • 1篇微电子器件
  • 1篇可靠性
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇电子工业部
  • 1篇电子部
  • 1篇中华人民共和...

作者

  • 3篇杨洪普
  • 2篇颜亨迪

传媒

  • 2篇微细加工技术
  • 1篇中国电子学会...

年份

  • 1篇2000
  • 1篇1995
  • 1篇1992
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
离子注入机的国内外现状被引量：1
1992年
本文简要介绍了离子注入和器件的关系,概述了离子注入机的发展现状和趋势,初步探讨了我国离子注入机不能形成产业的原因。
杨洪普颜亨迪
关键词：离子注入离子注入机
离子注入机国内外现状及发展动态
简述了离子注入机的应用发展,并详细分析了该领域的技术发展方向;概述了离子注入国内外现状和发展趋势,并阐述了发展的重要意义.
杨洪普
关键词：离子注入机离子注入掺杂微电子技术
文献传递
国外离子注入机发展动态被引量：3
1995年
本文概述了微电子器件对离子注入机的需求，介绍了国外离子注入机发展现状和发展趋势。
杨洪普颜亨迪
关键词：离子注入机微电子器件可靠性
全选 清除 导出
共1页<1>
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