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雷宇

作品数:13 被引量:7H指数:2
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关领域:电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 8篇专利
  • 5篇期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 2篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇漏液
  • 4篇激光
  • 3篇电阻
  • 3篇电阻丝
  • 3篇运行监控
  • 3篇投影光刻
  • 3篇投影光刻机
  • 3篇排查
  • 3篇拓扑
  • 3篇光刻
  • 3篇光刻机
  • 2篇定位装置
  • 2篇组件
  • 2篇拓扑分析
  • 2篇回水
  • 2篇激光设备
  • 2篇功率
  • 2篇功率计
  • 1篇等离子体
  • 1篇电缆

机构

  • 13篇中国电子科技...

作者

  • 13篇雷宇
  • 8篇吴爱华
  • 8篇赵英伟
  • 8篇吴海
  • 7篇张文朋
  • 3篇张文雅
  • 3篇宋健
  • 1篇刘晨
  • 1篇王辉
  • 1篇张士伟

传媒

  • 5篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2025
  • 1篇2024
  • 2篇2023
  • 3篇2022
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2008
  • 1篇2007
13 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
循环管路系统及循环管路控制方法
本发明涉及循环管路运行监控技术领域,尤其涉及一种循环管路系统及循环管路控制方法,本发明公开了一种循环管路系统,设有受控制器控制的进出口管控单元,控制器接收进出口流量信号,当流量差较大时,控制器输出关闭工作管路进出口的命令...
任泽生吴海刘成群赵英伟程壹涛王俊澎王露寒张文朋雷宇吴爱华
微波探针生产剖切、焊接、抛光专用夹具及生产方法
本发明提供了一种微波探针生产剖切、焊接、抛光专用夹具及生产方法,属于微波技术领域,包括:底座和设置于底座上的夹持单元,夹持单元包括子夹具、垫块和压块;子夹具固设于底座上,子夹具上设置有微波探针安装槽;压块上设置有用于定位...
张文朋雷宇刘晨赵英伟吴爱华张士伟王露寒吴海韩建侯立永
基于非奇异终端滑模的机械臂固定时间轨迹跟踪控制方法
本申请适用于轨迹跟踪技术领域,提供了一种基于非奇异终端滑模的机械臂固定时间轨迹跟踪控制方法,该方法包括:基于预先设计的机械臂的关节的期望轨迹的数据,建立不确定性的机械臂的动力学模型;基于动力学模型,获取机械臂的关节的实时...
曹胜杰雷宇吴海吴爱华赵英伟程壹涛王峻澎王辉
大功率UPS的工作原理及应用
2007年
论述了各种因市电供电故障原因给半导体设备带来的危害,说明为了保证半导体生产线某些重要设备长期安全运行采用大功率UPS提供高质量供电的必要性。由于近代电力电子技术的不断发展,新的调制理论和器件的应用,使得UPS性能得到极大的提高,其输出功率现在可达到1000kV·A以上,输出近乎完美的正弦波电压波形,满足了各种负载需求。并论述了近代发展起来的UPS核心技术SPWM的原理和基于SPWM技术设计的三进三出逆变器以及4种类型的UPS的工作原理及重要技术参数。
宋健朱鹏张文雅雷宇
关键词:UPSSPWMIGBT
Cymer准分子激光器的工作原理及应用被引量:2
2008年
论述了Cymer公司ELS-6000系列准分子激光器工作原理和激光器的各个组成模块。在应用方面,论述了激光束的传输方法和与Stepper通信接口的应用,最后论述了激光气体的安全使用,防止对工作人员造成伤害。
宋健朱鹏张文雅雷宇
关键词:准分子激光器二聚物投影光刻机
激光设备功率测试装置及激光设备功率测试方法
本发明提供一种激光设备功率测试装置及激光设备功率测试方法。该装置包括:底座、调节组件、反射组件、探头托组件、全反镜片、指示镜片和功率计;调节组件设置在底座下,反射组件固定设置在底座上,探头托组件固定设置在反射组件上,全反...
任泽生吴海刘成群赵英伟吴爱华王露寒程壹涛张文朋王峻澎雷宇
感应耦合等离子体刻蚀机的原理与故障分析被引量:1
2017年
介绍了ICPE法工艺的基本原理及其设备的基本结构。分析了影响ICP工艺刻蚀速率的主要因素。根据多年维修经验,分析总结了ICP设备常见故障现象并给出了相应的解决方法。
雷宇
关键词:感应耦合等离子体干法刻蚀
循环管路漏液定位装置、系统及定位方法
本发明涉及循环管路运行监控技术领域,尤其涉及一种循环管路漏液定位装置、系统及定位方法,本发明循环管路漏液定位装置,其设有电阻丝及导线,电阻丝和导线通过固定架固定于管路上,在管路泄露时,使得原彼此绝缘的电阻丝和导线产生电连...
任泽生吴海刘成群赵英伟程壹涛王俊澎王露寒张文朋雷宇吴爱华
步进投影光刻机及其常见故障分析被引量:2
2018年
根据步进投影光刻机的基本原理及其基本结构,分析了影响投影光刻工艺的主要因素。根据多年对设备的维修经验,总结了ASML步进投影光刻机的常见故障并给出了相应的解决方法。
雷宇
循环管路系统及循环管路控制方法
本发明涉及循环管路运行监控技术领域,尤其涉及一种循环管路系统及循环管路控制方法,本发明公开了一种循环管路系统,设有受控制器控制的进出口管控单元,控制器接收进出口流量信号,当流量差较大时,控制器输出关闭工作管路进出口的命令...
任泽生吴海 刘成群赵英伟 程壹涛 王俊澎 王露寒张文朋雷宇吴爱华
共2页<12>
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