张文朋
- 作品数：45 被引量：6H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学电气工程更多>>
- 温度测量法在水压层压机维修中的应用被引量：1
- 2020年
- 水压层压机压力系统故障为易发故障,由于系统压力高,压力管道系统多采用硬管连接,发生故障后拆解检查具有一定困难,有时还会造成部分连接件的损坏,为了达到简化操作,无损判断故障点的目的,提出了温度测量法,通过对不同位置管道壁温度的测量来判断水压层压机压力系统故障点,能够在不拆解或少拆解的情况下,对压力系统复杂故障进行快速无损定位。能在半导体设备维修行业中的水压层压机的维修中起到一定的指导作用,提高维修效率,减少误操作和拆解检查对设备造成的损伤,提高维修中维修人员的人身和设备本身的安全系数。
- 张文朋吴海赵英伟金黎雷
- 关键词：设备维修
- 非完整环面轮廓度误差确定方法、装置及终端设备
- 本申请适用于面轮廓度误差评定技术领域，提供了一种非完整环面轮廓度误差确定方法、装置及终端设备。该方法包括：获取待测零件的测量环面与理想环面，测量环面包括待测零件的实测点，理想环面包括理想环面参数；根据坐标变换参数对实测点...
- 王峻澎吴海吴爱华赵英伟张文朋任泽生程壹涛王露寒
- 直流磁控溅射系统研究及其维护被引量：1
- 2024年
- 通过介绍磁控溅射镀膜系统的原理,分析了磁控溅射系统在溅射镀膜的过程中遇到的沉积速率、沉积均匀性、常见故障等方面的问题,对沉积速率和沉积均匀性的影响因素进行了具体地研究;同时描述了设备在使用过程中经常遇到的一些故障,对这些故障发生的原因进行了详细地分析,根据原因分析给出了故障的具体解决方法;最后,对磁控溅射系统在日常使用过程中的保养和维护方面提出了一些建议。注重日常的保养和维护可大大降低设备的故障率。
- 吴海张文朋王露寒程壹涛
- 关键词：磁控溅射沉积速率设备维护
- 基于PLC的声扫显微镜自动上下片系统设计
- 2021年
- 介绍了一种用于超声波扫描显微镜的自动上下片系统设计,对其真空气路、循环水路和S型导轨的机械结构设计进行了详细介绍。基于贝加莱PLC的输入/输出信号控制系统、X2X Link通讯方式下运动控制系统硬件,在贝加莱Automation Studio开发环境下进行的仿真测试,给出了三环整定参数优化和人机界面的设计方法。
- 赵英伟郝晓亮张文朋
- 关键词：步进电机
- 防护晶圆片刻蚀损伤的装置及方法
- 本发明涉及半导体加工工艺技术领域，尤其涉及一种防护晶圆片刻蚀损伤的装置及方法，本发明防护晶圆片刻蚀损伤的装置包括有屏蔽环以及陶瓷环，屏蔽环上表面楔面设计，降低了反射功率以及刻蚀均匀性的影响。在屏蔽环的侧面设有孔，避免晶圆...
- 吴海王峻澎吴爱华任泽生刘成群王露寒张文朋程壹涛
- 基于稳态T型等效电路的感应电机参数辨识方法和装置
- 本申请适用于感应电机参数辨识技术领域，提供了基于稳态T型等效电路的感应电机参数辨识方法和装置，该方法包括：获取电机系统的数据参数，建立稳态T型等效电路，得到电机系统的理论阻抗，数据参数包括：电压值、电流值、定子电阻、转子...
- 程壹涛刘成群吴海赵英伟任泽生王露寒王峻澎张文朋张辉韩建吴爱华
- 一种内六角螺栓拆装配合使用工具
- 本发明提供了一种内六角螺栓拆装配合使用工具，属于拆装工具技术领域，包括套筒，套筒内部沿其轴向形成有两个相互贯通的内腔，上内腔和下内腔侧壁均具有多个贯通套筒内外的锥形孔，锥形孔内装有钢珠，钢珠向套筒内部凸出，套筒外壁套装有...
- 张辉张文朋赵英伟吴爱华任泽生程壹涛韩建侯立永
- 基于状态空间模型的感应电机参数辨识方法和装置
- 本申请适用于感应电机参数辨识技术领域，提供了基于状态空间模型的感应电机参数辨识方法和装置，该方法包括：获取电机系统的数据参数，基于数据参数建立αβ状态空间模型，数据参数包括：电压值、电流值、磁链、定子电阻、转子电阻、定子...
- 程壹涛刘成群吴海赵英伟任泽生王露寒王峻澎张文朋张辉韩建吴爱华
- 回转体零件轮廓度误差计算方法及电子设备
- 本发明提供一种回转体零件轮廓度误差计算方法及电子设备。该方法包括：对回转体零件中回转面上的每个测量点进行坐标变换处理，得到每个测量点的第一坐标；建立理想回转面模型，并对理想回转面模型进行区域划分，得到标准区域和逼近区域；...
- 王峻澎吴海吴爱华赵英伟张文朋任泽生程壹涛王露寒
- 循环管路系统及循环管路控制方法
- 本发明涉及循环管路运行监控技术领域，尤其涉及一种循环管路系统及循环管路控制方法，本发明公开了一种循环管路系统，设有受控制器控制的进出口管控单元，控制器接收进出口流量信号，当流量差较大时，控制器输出关闭工作管路进出口的命令...
- 任泽生吴海刘成群赵英伟程壹涛王俊澎王露寒张文朋雷宇吴爱华
