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王秋入
作品数:
1
被引量:0
H指数:0
供职机构:
电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
王鹏
电子科技大学光电信息学院电子薄...
彭斌
电子科技大学光电信息学院电子薄...
余涛
电子科技大学光电信息学院电子薄...
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坡莫合金
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表面粗糙度
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粗糙度
机构
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电子科技大学
作者
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余涛
1篇
彭斌
1篇
王秋入
1篇
王鹏
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年份
1篇
2015
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基片表面粗糙度对坡莫合金AMR以及磁性能的影响
2015年
利用霍尔离子源轰击Si基片获得了不同表面粗糙度的基片,然后利用磁控溅射方法制备了一系列Ta(5nm)/Ni 80Fe 20(12nm)/Ta(2nm)薄膜样品,重点研究了基片表面粗糙度对薄膜结构和各向异性磁阻效应的影响。采用AFM测量基片的表面粗糙度,采用四探针法测量薄膜的各向异性磁阻效应。研究结果表明,随着基片表面粗糙度的增加,坡莫合金的AMR值显著降低,且ΔH显著增加。
余涛
彭斌
王秋入
王鹏
关键词:
表面粗糙度
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