郭剑
- 作品数：4 被引量：9H指数：2
- 供职机构：西南交通大学电气工程学院牵引动力国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电气工程更多>>
- 基于Rockwell PLC的输煤控制系统设计
- 2011年
- 在火电厂输煤半实物硬件平台基础上,采用Rockwell公司的ControlLogix5561设计控制系统,通过RSLogix5000对PLC、变频器编程,利用RSView SE开发HMI人机界面模拟了火电厂输煤过程。系统采用以太网架构,通过控制模式切换和反馈调节功能,使设计的输煤系统能更适应工业现场的需求。
- 王俊橙郭剑
- 关键词：输煤系统三层网络反馈控制人机界面
- 基于Si_3N_4探针的单晶硅表面小线宽结构的摩擦诱导纳米加工被引量：1
- 2014年
- 针对传统纳米加工方法存在的操作复杂和成本昂贵等问题,提出采用以表面自然氧化层作为掩膜,结合Si3N4探针扫描和KOH溶液后续选择性刻蚀的摩擦诱导纳米加工方法.基于针尖半径对加工线宽影响的规律,实现了单晶硅表面较小线宽沟槽结构的加工.在此基础上,通过研究沟槽深度随刻蚀时间的变化规律,确定了最佳的刻蚀加工时间,并详细研究了载荷以及针尖扫描次数对表面沟槽结构加工的影响规律.该方法无需专门制备掩膜,操作简单,有望应用于加工功能表面织构、表面微阀、微反应器及单电子器件等,为纳米结构的加工提供了新途径.
- 姚洋洋陈磊郭剑钱林茂
- 关键词：选择性刻蚀单晶硅
- 一种快速检测单晶硅亚表面损伤层厚度的方法被引量：5
- 2016年
- 为了保证单晶硅晶圆在精研与抛光过程中的品质与质量,亟待寻求一种快速、简单、经济的硅材料亚表面损伤程度的检测方法。基于HF溶液对单晶硅损伤层的选择性刻蚀特性,提出一种快速检测单晶硅亚表面损伤层厚度的方法。透射电镜观测结果显示,HF溶液能选择性地刻蚀单晶硅划痕区域的亚表面损伤层,证实了该方法检测结果的有效性。利用该方法研究了载荷和速度对单晶硅亚表面划痕损伤的影响。结果表明,当外加载荷为单晶硅临界屈服载荷的1.1倍及以下时,单晶硅亚表面的划痕损伤层厚度随刻画速度的增大而减小;而当外加载荷达到临界屈服载荷的12.5倍时,单晶硅亚表面的划痕损伤对刻画速度的变化不敏感。该方法可方便快捷地检测单晶硅划痕区域亚表面的损伤层厚度,有望应用于单晶硅晶圆平坦化过程的损伤检测与控制。
- 徐乐郭剑余丙军钱林茂
- 关键词：摩擦学单晶硅
- 基于摩擦诱导选择性刻蚀原理的单晶硅表面大面积织构加工被引量：3
- 2014年
- 信息、生物、先进制造、航天航空等高科技领域的飞速发展对微/纳加工技术及工艺提出了全新的、苛刻的要求,亟待发展创新的微纳加工方法。基于摩擦诱导微纳米加工方法,利用自制的多点接触微纳米加工设备,在单晶硅表面制备了各种大面积织构,并研究了织构形状和间距对表面接触角的影响规律。结果表明,单晶硅表面织构的线间距越小,表面接触角越大;'#'型织构相对于线性织构表现出更好的疏水性能,最大可使单晶硅表面的接触角增大145%。此外,利用摩擦诱导加工方法获得的表面织构具有良好的稳定性。放置一个月后,单晶硅表面织构的接触角测量结果与新鲜制备样品的测量结果相比没有明显变化。因此,摩擦诱导选择性刻蚀提供了一种实现单晶硅表面大面积功能织构加工的新方法。
- 李连凯余丙军郭剑钱林茂
- 关键词：表面织构疏水性单晶硅
