您的位置： 专家智库 > >

姚洋洋

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：西南交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇选择性刻蚀
  • 1篇探针
  • 1篇线宽
  • 1篇摩擦学
  • 1篇摩擦学性能
  • 1篇刻蚀
  • 1篇SI

机构

  • 2篇西南交通大学

作者

  • 2篇姚洋洋
  • 1篇陈磊
  • 1篇钱林茂
  • 1篇郭剑

传媒

  • 1篇上海大学学报...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
基于Si_3N_4探针的单晶硅表面小线宽结构的摩擦诱导纳米加工被引量：1
2014年
针对传统纳米加工方法存在的操作复杂和成本昂贵等问题,提出采用以表面自然氧化层作为掩膜,结合Si3N4探针扫描和KOH溶液后续选择性刻蚀的摩擦诱导纳米加工方法.基于针尖半径对加工线宽影响的规律,实现了单晶硅表面较小线宽沟槽结构的加工.在此基础上,通过研究沟槽深度随刻蚀时间的变化规律,确定了最佳的刻蚀加工时间,并详细研究了载荷以及针尖扫描次数对表面沟槽结构加工的影响规律.该方法无需专门制备掩膜,操作简单,有望应用于加工功能表面织构、表面微阀、微反应器及单电子器件等,为纳米结构的加工提供了新途径.
姚洋洋陈磊郭剑钱林茂
关键词：选择性刻蚀单晶硅
单晶硅表面氢钝化时效性及其对摩擦学性能的影响
单晶硅作为典型的半导体材料，目前已被广泛应用于微机电系统以及微纳加工领域。然而，伴随着器械尺度的不断微型化，由表面力引起的黏着及摩擦问题，不仅成为制约微机电系统可靠服役的关键因素，而且对微纳器件的加工质量产生严重的影响。...
姚洋洋
关键词：单晶硅摩擦学性能
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0