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徐乐

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：西南交通大学电气工程学院牵引动力国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇磨损
  • 1篇摩擦学
  • 1篇亚表面

机构

  • 1篇西南交通大学

作者

  • 1篇余丙军
  • 1篇钱林茂
  • 1篇徐乐
  • 1篇郭剑

传媒

  • 1篇机械工程学报

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种快速检测单晶硅亚表面损伤层厚度的方法被引量：5
2016年
为了保证单晶硅晶圆在精研与抛光过程中的品质与质量,亟待寻求一种快速、简单、经济的硅材料亚表面损伤程度的检测方法。基于HF溶液对单晶硅损伤层的选择性刻蚀特性,提出一种快速检测单晶硅亚表面损伤层厚度的方法。透射电镜观测结果显示,HF溶液能选择性地刻蚀单晶硅划痕区域的亚表面损伤层,证实了该方法检测结果的有效性。利用该方法研究了载荷和速度对单晶硅亚表面划痕损伤的影响。结果表明,当外加载荷为单晶硅临界屈服载荷的1.1倍及以下时,单晶硅亚表面的划痕损伤层厚度随刻画速度的增大而减小;而当外加载荷达到临界屈服载荷的12.5倍时,单晶硅亚表面的划痕损伤对刻画速度的变化不敏感。该方法可方便快捷地检测单晶硅划痕区域亚表面的损伤层厚度,有望应用于单晶硅晶圆平坦化过程的损伤检测与控制。
徐乐郭剑余丙军钱林茂
关键词：摩擦学单晶硅
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