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王昊
作品数:
5
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供职机构:
杭州士兰集成电路有限公司
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相关领域:
文化科学
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合作作者
陈洪雷
杭州士兰集成电路有限公司
苏兰娟
杭州士兰集成电路有限公司
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中文专利
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单晶体
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2篇
光致抗蚀剂
2篇
半导体器件
2篇
掺杂
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牺牲
1篇
牺牲层
1篇
离子
1篇
可调
机构
5篇
杭州士兰集成...
作者
5篇
陈洪雷
5篇
王昊
3篇
苏兰娟
年份
1篇
2019
1篇
2018
1篇
2017
2篇
2015
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5
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半导体器件
本申请公开了一种半导体器件。该半导体器件包括:衬底;栅叠层,位于所述衬底上方;停止层,共形地覆盖所述栅叠层;位于所述半导体衬底中的轻掺杂漏区、源漏区,其中,所述轻掺杂漏区位于所述栅叠层和所述漏区之间,并且所述轻掺杂漏区的...
王昊
陈洪雷
闻永祥
文献传递
半导体电阻结构及其形成方法
本发明提供了一种半导体电阻结构及其形成方法,所述结构包括:基底;第一掺杂类型的阱区,形成在所述基底内;栅介质层,至少部分位于所述阱区上;栅极,至少部分位于所述栅介质层上;第二掺杂类型的电阻体,形成在所述阱区内,所述电阻体...
陈洪雷
闻永祥
王昊
苏兰娟
文献传递
半导体电阻结构及其形成方法
本发明提供了一种半导体电阻结构及其形成方法,所述结构包括:基底;第一掺杂类型的阱区,形成在所述基底内;栅介质层,至少部分位于所述阱区上;栅极,至少部分位于所述栅介质层上;第二掺杂类型的电阻体,形成在所述阱区内,所述电阻体...
陈洪雷
闻永祥
王昊
苏兰娟
半导体电阻结构
本实用新型提供了一种半导体电阻结构,所述结构包括:基底;第一掺杂类型的阱区,形成在所述基底内;栅介质层,至少部分位于所述阱区上;栅极,至少部分位于所述栅介质层上;第二掺杂类型的电阻体,形成在所述阱区内,所述电阻体的至少一...
陈洪雷
闻永祥
王昊
苏兰娟
半导体器件及其制造方法
本申请公开了一种半导体器件及其制造方法。该制造方法包括:在衬底上形成栅叠层;在所述栅叠层上形成停止层,所述停止层共形地覆盖所述栅叠层;在所述停止层上形成牺牲层;将所述牺牲层图案化,使得所述牺牲层在所述栅叠层侧壁的部分保留...
王昊
陈洪雷
闻永祥
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