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徐正良

作品数：4 被引量：4H指数：2
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 2篇多层膜
  • 2篇软X射线多层...
  • 2篇控制系统
  • 2篇测量控制系统
  • 2篇测试装置
  • 1篇真空
  • 1篇软X射线
  • 1篇设计特性
  • 1篇束线
  • 1篇数据获取
  • 1篇光刻
  • 1篇光束
  • 1篇光束线
  • 1篇二倍角
  • 1篇反射率
  • 1篇X辐射
  • 1篇X射线光刻
  • 1篇BEPC
  • 1篇操作系
  • 1篇操作系统

机构

  • 4篇中国科学院长...

作者

  • 4篇徐正良
  • 3篇孙剑辉
  • 2篇邵景鸿
  • 1篇薛松

传媒

  • 3篇光学精密工程
  • 1篇全国第二次同...

年份

  • 1篇1997
  • 1篇1995
  • 2篇1993
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
3W1B软X射线反射率计测量控制系统
介绍了最新安装在ＢＥＰＣ同步辐射实验室的３Ｗ１Ｂ软Ｘ射线反射率计的测量控制系统。在３Ｗ１Ｂ软Ｘ射线反射率的控制系统中，通过对样品及探测器的控制，可实现样品和探测器的各种运动功能。可对软Ｘ光学元件进行反射率、透射率等各种光...
孙剑辉徐正良
关键词：软X射线测试装置
同步辐射软X射线多层膜反射率计测量控制系统被引量：2
1995年
本文介绍我们首先使用一块软Ｘ射线多层膜反射镜作为色散元件而研制的同步辐射软Ｘ射线反射率计的软硬件结构、功能与特点，并报告了实测结果。
徐正良孙剑辉
关键词：软X射线多层膜控制系统操作系统数据获取
同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置被引量：2
1993年
采用多层膜反射镜作为分光元件,成功地研制了同步辐射软X射线反射率计。可完成对各种光学反射镀层的光学常数的测试和评价。工作波段(2—20)nm,角分辨率0.01°,扫描范围(0—80)°。该装置安装在BEPC同步辐射实验室3B1光刻光束线上。
薛松邵景鸿徐正良孙剑辉
关键词：X辐射多层膜反射率
BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性
1993年
介绍我们为北京正负电子对撞机(Beijing Electron Position Collide,BEPC)同步辐射实验室建造的软X射线光刻光束线的总体设计思想,并说明其中的束线物理设计、反射镜扫描、调整机构、激光模拟光源、真空系统和电子学、微机控制等系统中的关键技术。此外,对束线中的关键器件之一的超薄铍窗(18μm厚)的耐压强度给出了与理论计算趋势相一致的实验结果。
邵景鸿徐正良
关键词：X射线光刻光束线真空
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