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孙剑辉

作品数：3 被引量：4H指数：2
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇多层膜
  • 2篇软X射线多层...
  • 2篇控制系统
  • 2篇测量控制系统
  • 2篇测试装置
  • 1篇软X射线
  • 1篇数据获取
  • 1篇二倍角
  • 1篇反射率
  • 1篇X辐射
  • 1篇操作系
  • 1篇操作系统

机构

  • 3篇中国科学院长...

作者

  • 3篇孙剑辉
  • 3篇徐正良
  • 1篇薛松
  • 1篇邵景鸿

传媒

  • 2篇光学精密工程
  • 1篇全国第二次同...

年份

  • 1篇1997
  • 1篇1995
  • 1篇1993
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
同步辐射软X射线多层膜反射率计测量控制系统被引量：2
1995年
本文介绍我们首先使用一块软Ｘ射线多层膜反射镜作为色散元件而研制的同步辐射软Ｘ射线反射率计的软硬件结构、功能与特点，并报告了实测结果。
徐正良孙剑辉
关键词：软X射线多层膜控制系统操作系统数据获取
同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置被引量：2
1993年
采用多层膜反射镜作为分光元件,成功地研制了同步辐射软X射线反射率计。可完成对各种光学反射镀层的光学常数的测试和评价。工作波段(2—20)nm,角分辨率0.01°,扫描范围(0—80)°。该装置安装在BEPC同步辐射实验室3B1光刻光束线上。
薛松邵景鸿徐正良孙剑辉
关键词：X辐射多层膜反射率
3W1B软X射线反射率计测量控制系统
介绍了最新安装在ＢＥＰＣ同步辐射实验室的３Ｗ１Ｂ软Ｘ射线反射率计的测量控制系统。在３Ｗ１Ｂ软Ｘ射线反射率的控制系统中，通过对样品及探测器的控制，可实现样品和探测器的各种运动功能。可对软Ｘ光学元件进行反射率、透射率等各种光...
孙剑辉徐正良
关键词：软X射线测试装置
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