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文献类型

  • 3篇会议论文
  • 2篇期刊文章
  • 2篇专利

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 3篇超高真空
  • 2篇多层膜
  • 2篇真空室
  • 2篇反射率
  • 2篇测试装置
  • 1篇单色器
  • 1篇单色仪
  • 1篇动密封
  • 1篇真空管
  • 1篇真空装置
  • 1篇软X射线
  • 1篇软X射线多层...
  • 1篇球轴承
  • 1篇轴承
  • 1篇微机控制
  • 1篇微机控制系统
  • 1篇漏气
  • 1篇密封
  • 1篇控制系统
  • 1篇冷却技术

机构

  • 7篇中国科学院长...

作者

  • 7篇薛松
  • 3篇邵景鸿
  • 1篇何慧阳
  • 1篇孙剑辉
  • 1篇徐正良

传媒

  • 2篇光学精密工程
  • 2篇全国第二次同...
  • 1篇同步辐射光束...

年份

  • 2篇2000
  • 2篇1997
  • 1篇1995
  • 1篇1994
  • 1篇1993
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
一种反射率测量装置
本发明涉及一种对反射率测量装置的改进。它由真空室、底板、支架、电机、蜗轮副、多层膜反射镜、电机、蜗轮副、随动摇臂、电机、蜗轮副、样品架、电机、蜗轮副、探测器架、探测器、电机、蜗轮副、样品组成,根据多层膜反射镜的布拉格分光...
薛松
文献传递
同步辐射高精度超高真空馈入系统(动密封)研究
结合在BEPC同步辐射光束线和实验站的实际工作,对高精度超高真空馈入系统的密封型式和结构进行了描述,特别对可用于同步辐射光束线和实验站的超高真空差分馈入系统、磁流体超高真空旋转密封、超高真空密闭谐波齿轮传动动密封的性能和...
薛松何慧阳
关键词:微机控制系统
同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置被引量:2
1993年
采用多层膜反射镜作为分光元件,成功地研制了同步辐射软X射线反射率计。可完成对各种光学反射镀层的光学常数的测试和评价。工作波段(2—20)nm,角分辨率0.01°,扫描范围(0—80)°。该装置安装在BEPC同步辐射实验室3B1光刻光束线上。
薛松邵景鸿徐正良孙剑辉
关键词:X辐射多层膜反射率
同步辐射软X射线反射率测试装置
对建于BEPC同步辐射3B1光束线及3W1B光束线上的同步辐射软X光反射率测试装置进行了介绍。3B1光束线中的反射率测试装置集多层膜单色器与反射率计为一体,采用双重二倍角机构,结构紧凑、使用方法,波长50~200A,角分...
薛松邵景鸿
关键词:光栅单色仪
同步辐射光束线中超高真空大截面差分系统设计
薛松关志远
关键词:光束超高真空差分法
超高真空同轴转动、平移差分馈入装置
本发明属于真空技术领域,涉及一种对超高真空馈入装置的改进。解决已有技术真空漏气环节多、系统复杂、体积大、造价昂贵的问题。它由真空室1、真空管壁2、内、外密球轴承3和4,内、外轴5和6、内、外固定环7和8、内、外密封圈9和...
薛松
文献传递
同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计被引量:1
1994年
分析了同步辐射软X射线多层膜反射率计;介绍了单色器系统、反射率计系统、真空系统以及双重二倍角机构的设计要点。
薛松邵景鸿
关键词:软X射线
共1页<1>
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