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薛松
作品数:
7
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械研究所
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相关领域:
机械工程
理学
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合作作者
邵景鸿
中国科学院长春光学精密机械研究...
徐正良
中国科学院长春光学精密机械研究...
孙剑辉
中国科学院长春光学精密机械研究...
何慧阳
中国科学院长春光学精密机械研究...
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光学精密工程
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全国第二次同...
1篇
同步辐射光束...
年份
2篇
2000
2篇
1997
1篇
1995
1篇
1994
1篇
1993
共
7
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一种反射率测量装置
本发明涉及一种对反射率测量装置的改进。它由真空室、底板、支架、电机、蜗轮副、多层膜反射镜、电机、蜗轮副、随动摇臂、电机、蜗轮副、样品架、电机、蜗轮副、探测器架、探测器、电机、蜗轮副、样品组成,根据多层膜反射镜的布拉格分光...
薛松
文献传递
同步辐射高精度超高真空馈入系统(动密封)研究
结合在BEPC同步辐射光束线和实验站的实际工作,对高精度超高真空馈入系统的密封型式和结构进行了描述,特别对可用于同步辐射光束线和实验站的超高真空差分馈入系统、磁流体超高真空旋转密封、超高真空密闭谐波齿轮传动动密封的性能和...
薛松
何慧阳
关键词:
微机控制系统
同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置
被引量:2
1993年
采用多层膜反射镜作为分光元件,成功地研制了同步辐射软X射线反射率计。可完成对各种光学反射镀层的光学常数的测试和评价。工作波段(2—20)nm,角分辨率0.01°,扫描范围(0—80)°。该装置安装在BEPC同步辐射实验室3B1光刻光束线上。
薛松
邵景鸿
徐正良
孙剑辉
关键词:
X辐射
多层膜
反射率
同步辐射软X射线反射率测试装置
对建于BEPC同步辐射3B1光束线及3W1B光束线上的同步辐射软X光反射率测试装置进行了介绍。3B1光束线中的反射率测试装置集多层膜单色器与反射率计为一体,采用双重二倍角机构,结构紧凑、使用方法,波长50~200A,角分...
薛松
邵景鸿
关键词:
光栅
单色仪
同步辐射光束线中超高真空大截面差分系统设计
薛松
关志远
关键词:
光束
超高真空
差分法
超高真空同轴转动、平移差分馈入装置
本发明属于真空技术领域,涉及一种对超高真空馈入装置的改进。解决已有技术真空漏气环节多、系统复杂、体积大、造价昂贵的问题。它由真空室1、真空管壁2、内、外密球轴承3和4,内、外轴5和6、内、外固定环7和8、内、外密封圈9和...
薛松
文献传递
同步辐射软X射线多层膜反射率计的设计
被引量:1
1994年
分析了同步辐射软X射线多层膜反射率计;介绍了单色器系统、反射率计系统、真空系统以及双重二倍角机构的设计要点。
薛松
邵景鸿
关键词:
软X射线
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