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刘心红

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇亚微米
  • 1篇液态金属离子...
  • 1篇漂移
  • 1篇微米
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇离子束
  • 1篇聚焦离子束
  • 1篇刻蚀

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇刘心红
  • 1篇彭永生
  • 1篇俞学东
  • 1篇毕建华

传媒

  • 2篇真空科学与技...

年份

  • 1篇1997
  • 1篇1994
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
液态金属离子源静电透镜离子枪的实验研究被引量：4
1994年
液态金属离子源（LMIS）的亚微米聚焦离子束（FIB）在现代分析技术和微细加工等领域有很多应用。介绍一种计算机控制的快速、灵活、准确的束斑测量方法；并报导用这种方法对采用Orloff—Swanson静电透镜离子枪的FIB性能的研究结果，包括源尖对中对束斑的影响、各电极电位对束斑的影响及束斑与束流的关系等。通过仔细的源尖位置调节，在束能13keV，束流1．0nA时，FIB束斑在亚微米范围。
彭永生刘心红陆家和
关键词：液态金属离子源
亚微米聚焦离子束的漂移现象
1997年
研究了亚微米聚焦离子束（FIB）系统的漂移现象，给出了测量漂移的方法，分析引起漂移的原因及降低漂移的措施。发现了偏转电极上钝化层及污染物充电电荷所引起的漂移现象；测出了各电极电压变化所引起漂移的大小；发现了由于外壳温度不均匀引起离子枪轴线相对样品变化所引起的漂移。提出了制作透镜电极时保持轴对称、特别是限制光栏必须位于透镜光轴上的必要性。所给出的漂移数据既包含早期曾研制的单级透镜FIB系统的数据，也包含近期研制的二级透镜可变束流FIB系统的数据。
俞学东毕建华刘心红宋风华陆家和
关键词：微细加工亚微米刻蚀
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