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彭永生

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇液态金属离子...

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇彭永生
  • 1篇刘心红

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇1994
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
液态金属离子源静电透镜离子枪的实验研究被引量：4
1994年
液态金属离子源（LMIS）的亚微米聚焦离子束（FIB）在现代分析技术和微细加工等领域有很多应用。介绍一种计算机控制的快速、灵活、准确的束斑测量方法；并报导用这种方法对采用Orloff—Swanson静电透镜离子枪的FIB性能的研究结果，包括源尖对中对束斑的影响、各电极电位对束斑的影响及束斑与束流的关系等。通过仔细的源尖位置调节，在束能13keV，束流1．0nA时，FIB束斑在亚微米范围。
彭永生刘心红陆家和
关键词：液态金属离子源
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