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以色列实用材料有限公司

作品数：16 被引量：0H指数：0
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合作机构

文献类型

  • 16篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 14篇光学
  • 12篇组件
  • 12篇光学组件
  • 8篇带电粒子
  • 8篇电粒子
  • 6篇物镜
  • 6篇励磁
  • 6篇粒子光学
  • 6篇聚焦磁场
  • 6篇波束
  • 6篇磁场
  • 6篇磁通量
  • 4篇电子光学
  • 4篇选择器
  • 3篇粒子源
  • 3篇孔径
  • 2篇电势
  • 2篇电子束
  • 2篇多孔板
  • 2篇多小波

机构

  • 16篇以色列实用材...
  • 10篇卡尔蔡司SM...
  • 3篇卡尔蔡司SM...
  • 3篇卡尔蔡司显微...

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 4篇2013
  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
粒子光学系统及布置,以及用于这种系统及布置的粒子光学组件
本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第...
D.蔡德勒T.凯曼P.安格A.卡萨里斯C.里德赛尔
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粒子光学系统及布置与用于该系统及布置的粒子光学组件
本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源；具有多个孔径的第一多孔径板，其布置在系统的带电粒子束路径中源的下游；第一多孔径选择器板，具有多个孔径；载体，第一多孔径选择器板安装在载体上；致动器，构造为移动载体，使...
D.蔡德勒T.凯曼P.安格A.卡萨里斯C.里德赛尔
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电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法
本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁...
赖纳·克尼佩梅尔奥利弗·金茨勒托马斯·克门海科·米勒斯特凡·乌勒曼马克西米利安·海德尔安东尼奥·卡萨雷斯史蒂文·罗杰
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粒子光学组件
本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(...
赖纳·克尼佩梅尔斯特凡·舒伯特
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粒子光学系统及布置，以及用于这种系统及布置的粒子光学组件
本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第...
D.蔡德勒T.凯曼P.安格A.卡萨里斯C.里德赛尔
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电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法
本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁...
赖纳·克尼佩梅尔奥利弗·金茨勒托马斯·克门海科·米勒斯特凡·乌勒曼马克西米利安·海德尔安东尼奥·卡萨雷斯史蒂文·罗杰
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带电粒子探测系统和多小波束检查系统
一种带电粒子探测系统，其包含多个探测元件和接近探测元件的多孔径板。带电粒子小波束可穿过多孔径板的孔径，以入射到探测元件上。可提供多于一个的多孔径板，以形成接近探测器的多孔径板的板组。提供给多孔径板的合适电势可具有对于穿过...
R.尼佩尔迈耶
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粒子光学组件
本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(...
赖纳·克尼佩梅尔斯特凡·舒伯特
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粒子光学组件
一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的...
赖纳·克尼佩梅尔斯特凡·舒伯特
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粒子光学系统和排布结构,以及用于其的粒子光学组件
一种粒子光学排布结构，其包括：用于生成带电粒子束的带电粒子源；布置在带电粒子束的束路径中的多孔板，其中，该多孔板具有按预定的第一阵列图案形成在其中的多个孔，其中，在多孔板的下游从带电粒子束形成了多个带电粒子分束，并且其中...
赖纳·克尼佩梅尔奥利弗·金茨勒托马斯·克门海科·米勒斯特凡·乌勒曼马克西米利安·海德尔安东尼奥·卡萨雷斯史蒂文·罗杰
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