-
张弛
-
-
- 所属机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 所在地区:天津市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:中国人民解放军总装备部预研基金
相关作者
- 高飞
- 作品数：13被引量：22H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 研究主题：化学机械抛光 CMP 表面粗糙度 4H-SIC SIC
- 李晖
- 作品数：13被引量：24H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 研究主题：化学机械抛光 CMP 表面粗糙度 碳化硅 晶片
- 王磊
- 作品数：6被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 研究主题：SIC 粗糙度 表面粗糙度 CMP SI
- 程红娟
- 作品数：63被引量：62H指数：4
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 研究主题：单晶 晶体 HVPE ALN 氮化镓
- 张海磊
- 作品数：2被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 研究主题：研磨液 SIC 悬浮剂 多线切割机 磨料
