张海磊
作品数: 2被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信

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张弛
作品数:6被引量:4H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:吸盘 转速 切入 倒角 表面粗糙度
王磊
作品数:6被引量:5H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:SIC 粗糙度 表面粗糙度 CMP SI
冯玢
作品数:16被引量:20H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:SIC 碳化硅 碳化硅单晶 半绝缘 电阻率