高飞
作品数: 13被引量:22H指数:3
  • 所属机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:中国人民解放军总装备部预研基金

相关作者

李晖
作品数:13被引量:24H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 表面粗糙度 碳化硅 晶片
程红娟
作品数:63被引量:62H指数:4
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:单晶 晶体 HVPE ALN 氮化镓
徐永宽
作品数:36被引量:44H指数:4
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:HVPE GAN 氮化镓 氢化物气相外延 DAST
张弛
作品数:6被引量:4H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:吸盘 转速 切入 倒角 表面粗糙度
徐世海
作品数:5被引量:12H指数:2
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 晶片 GASB CMP工艺