2025年12月4日
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张研
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河北工业大学
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
闫宝华
河北工业大学信息工程学院微电子...
孙增标
河北工业大学信息工程学院微电子...
梁蒲
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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孙增标
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP SIO 混合磨料 化学机械抛光 微晶玻璃
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闫宝华
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP SIO 混合磨料 化学机械抛光 微晶玻璃
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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梁蒲
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 表面粗糙度 CMP SIO 抛光液
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江炎
供职机构:河北工业大学
研究主题:AL-MG 化学机械抛光
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂
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阎宝华
供职机构:河北工业大学
研究主题:MG-AL合金 化学机械抛光 镁铝合金
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边征
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 表面形貌 腐蚀速率 多晶硅太阳电池 多晶硅片
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