2025年12月16日
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安志超
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8
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H指数:1
供职机构:
电子工业部
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
廖温初
电子部
童志义
电子工业部
王洪业
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肖友文
电子工业部
华德清
电子工业部
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童志义
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光学光刻 集成电路 光刻 硅 CMP
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廖温初
供职机构:中国科学院
研究主题:离子注入机 离子束 蚀刻机 废止 集成电路工艺
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王洪业
供职机构:国防科学技术大学
研究主题:皮带秤 GPS/GPRS GPS GPRS 监控系统
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席光荣
供职机构:电子工业部
研究主题:镀膜机
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肖友文
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:钯 铬 铬合金 氢气传感器 离子束溅射
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所获资助
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陈特超
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:离子束 溅射 刻蚀 太阳能电池生产线 扩散炉
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供职机构
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研究领域
华德清
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:国民经济支柱产业 工艺参数 工业经济 溅射 镀膜机
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