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孙媛

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇硅片
  • 1篇硅片表面

机构

  • 1篇北京有色金属...

作者

  • 1篇徐继平
  • 1篇孙燕
  • 1篇李莉
  • 1篇李俊峰
  • 1篇李婧璐
  • 1篇孙媛

传媒

  • 1篇稀有金属

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
测试方法对硅片表面微粗糙度测量结果影响的研究被引量：6
2009年
随着大规模集成电路的快速发展,硅片表面微粗糙度对于器件制造的影响也越来越受到人们的重视。介绍了几种测量硅片表面微粗糙度的测试方法,并将它们分成三类,简单阐述了每一类测试方法的测试原理,影响测试结果的因素,从实际应用的角度详细阐述了这三类测试方法的适用情况、通过详细的测试数据及图形对这三类测试方法进行了分析,并对这三类测试方法进行了比较。最后简单介绍了纳米形貌和硅片表面微粗糙度之间的关系。
孙燕李莉孙媛李婧璐李俊峰徐继平
关键词：硅片
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