路远
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：国防科学技术大学机电工程与自动化学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程更多>>
- 微悬臂梁弯曲法测量3C-SiC薄膜断裂强度被引量：2
- 2017年
- 针对恶劣环境下MEMS对高强度材料的需求,采用化学气相沉积(CVD)外延生长3C-SiC薄膜.利用微力学操纵系统,对3C-SiC微悬臂梁进行了弯曲实验.利用厚板结构的有限元仿真和威布尔统计,得到3C-SiC薄膜断裂强度.结果表明:不同尺寸3C-SiC微悬臂梁威布尔特征强度为1 852.15 MPa、2 554.56 MPa、2 598.39 MPa、2 911.64 MPa,威布尔模数分别为9.547、11.541、18.909、20.733.断裂强度随微悬臂梁宽度增加而减小,威布尔模数也减小,分析认为:结构尺寸越大的微悬臂梁,含有的生长缺陷(如孔洞、裂纹等)越多,造成其断裂强度越低.
- 路远董培涛吴学忠
- 关键词：微悬臂梁
- 一种微推力器阵列寻址驱动系统性能定量评价方法
- 2019年
- 微推力器阵列寻址驱动系统通过优化算法向目标微推力器发送最优点火指令进行组合点火,实现输出目标输出冲量和冲量矩。微推力器阵列加工工艺以及结构正日臻成熟,但其寻址驱动系统设计研究工作还不够完善。针对微推力器阵列寻址驱动系统性能评价方法研究不完善的现状,提出一种涵盖系统响应速度(表现为延时)和接口匹配两方面内容的性能评价方法。应用该方法对10×10微推力器阵列(阵列中单个点火电桥点火延时为375μs)进行测试并分析数据。结果表明:寻址驱动系统延时小于阵列点火延时,接口匹配可靠。该方法具有可行性。
- 沈洋王鑫路远胡立明
- 关键词：响应速度接口匹配点火延时
