您的位置： 专家智库 > >

邱江虹

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：水利工程机械工程冶金工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

领域

  • 1篇冶金工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇水利工程

主题

  • 4篇炉体
  • 2篇装卸
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体设备
  • 2篇传送
  • 1篇氮气
  • 1篇导流板
  • 1篇底板
  • 1篇定位机构
  • 1篇对接
  • 1篇循环风机
  • 1篇真空阀
  • 1篇排气
  • 1篇排气装置
  • 1篇气量
  • 1篇限位
  • 1篇结构件
  • 1篇管路
  • 1篇滚轮
  • 1篇负压

机构

  • 5篇北京七星华创...

作者

  • 5篇刘红丽
  • 5篇康飞
  • 5篇邱江虹
  • 2篇赵燕平
  • 2篇侯建明

年份

  • 5篇2017
共 5 条 记 录，以下是 1-5
全选 清除 导出
排序方式：
一种半导体设备的处理腔室的控氧控压系统
本发明提供了一种半导体设备的处理腔室的控压控氧系统，该系统将氮气输入管路设置为并联的两路氮气输入支路，在两路氮气输入支路上均连接有流量计，可以准确的控制向处理腔室中充入的氮气量。为防止处理腔室内的过压而造成器件的损坏，处...
刘红丽卢言晓康飞邱江虹
一种炉体装卸机构
本发明提供了一种炉体装卸机构，包括：主体，前传送支架调整结构，前传送支架，中间传送架，后传送支架，炉体固定支架，安装炉体时，将炉体装到后传送支架上，推动炉体至中间传送架，炉体固定支架固定炉体，推动主体至目标设备，前传送支...
刘红丽赵燕平邱江虹康飞
一种半导体设备的炉体排气装置
本发明公开了一种半导体设备的炉体排气装置，包括：水平导流板，设于炉体正上方，并与主机箱体顶部内壁固定；倾斜导流板，相连设于水平导流板一侧，并向下倾斜连接至主机箱体侧壁；第一、第二排气管道，第一排气管道水平设于倾斜导流板下...
刘红丽邱江虹康飞赵燕平
一种可快速定位的炉体装卸装置
本发明公开了一种可快速定位的炉体装卸装置，通过在热处理设备和炉体装卸装置的对应位置之间设置炉体装卸定位机构，包括分设于热处理设备底板上的一对限位单元和对应设于炉体装卸装置主体支架底部的框架前端的一对滚动单元，限位单元设有...
邱江虹刘红丽康飞侯建明
文献传递
一种可调整传送架高度的炉体装卸装置
本发明公开了一种可调整传送架高度的炉体装卸装置，通过将前传送架安装在前传送架高度调整机构上，在进行炉体装卸时，可通过调节前传送架高度调整机构的相对高度，使前传送架与中间传送架各自位于对接部的炉体承载面相平齐，以使前传送架...
刘红丽康飞邱江虹侯建明
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0