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侯建明

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：经济管理金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 1篇经济管理
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 4篇炉体
  • 3篇排风
  • 3篇排风系统
  • 3篇开度
  • 3篇阀门
  • 3篇风系统
  • 3篇半导体
  • 3篇半导体工艺
  • 3篇半导体工艺设...
  • 3篇进排风系统
  • 2篇装卸
  • 2篇精确控制
  • 2篇阀门开度
  • 2篇阀门驱动装置
  • 1篇底板
  • 1篇底面
  • 1篇顶面
  • 1篇定位机构
  • 1篇对接
  • 1篇套管

机构

  • 6篇北京七星华创...

作者

  • 6篇侯建明
  • 3篇孙少东
  • 3篇刘红丽
  • 3篇周厉颖
  • 3篇康飞
  • 2篇邱江虹
  • 1篇赵燕平

年份

  • 4篇2017
  • 2篇2015
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种用于降温炉体的进排风系统
本发明涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于降温炉体的进排风系统，该进排风系统包括进风风路和排风风路，所述进风风路上设有进风阀门，通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度；所述排风风路上设有排风阀门，通过排风阀门...
孙少东侯建明周厉颖
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一种热处理设备的热偶安装固定装置
本发明公开了一种热处理设备的热偶安装固定装置，包括：热偶固定块，其前后两侧向内相向设有相通的一至若干对热偶套管连接孔和热偶连接孔，并设有通向热偶连接孔的止动结构；热偶固定支架，可拆卸连接热偶固定块，并与热处理设备固定，热...
刘红丽赵燕平侯建明康飞
一种用于降温炉体的进排风系统
本发明涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于降温炉体的进排风系统，该进排风系统包括进风风路和排风风路，所述进风风路上设有进风阀门，通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度；所述排风风路上设有排风阀门，通过排风阀门...
孙少东侯建明周厉颖
用于降温炉体的进排风系统
本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于降温炉体的进排风系统，该进排风系统包括进风风路和排风风路，所述进风风路上设有进风阀门，通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度；所述排风风路上设有排风阀门，通过排风...
孙少东侯建明周厉颖
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一种可调整传送架高度的炉体装卸装置
本发明公开了一种可调整传送架高度的炉体装卸装置，通过将前传送架安装在前传送架高度调整机构上，在进行炉体装卸时，可通过调节前传送架高度调整机构的相对高度，使前传送架与中间传送架各自位于对接部的炉体承载面相平齐，以使前传送架...
刘红丽康飞邱江虹侯建明
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一种可快速定位的炉体装卸装置
本发明公开了一种可快速定位的炉体装卸装置，通过在热处理设备和炉体装卸装置的对应位置之间设置炉体装卸定位机构，包括分设于热处理设备底板上的一对限位单元和对应设于炉体装卸装置主体支架底部的框架前端的一对滚动单元，限位单元设有...
邱江虹刘红丽康飞侯建明
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