刘燕
- 作品数:14 被引量:4H指数:1
- 供职机构:昆明物理研究所更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 一种防止抛光过程中晶片塌边的夹具
- 本实用新型公开一种防止抛光过程中晶片塌边的夹具,包括抛光夹具和配重块,抛光夹具的正面有置片槽和导流槽,背面中心位置有圆形槽,圆形槽的槽径根据塌边尺寸大小进行决定,配重块包括柱形和数片环形配重块,环形配重块套接在柱形配重块...
- 江先燕孔金丞宋林伟刘燕彭凝宁卓郑要争刘文军褚德亮起文斌杨晋
- 碲锌镉衬底表面处理研究
- 2023年
- 主要从碲锌镉表面处理工艺及表面位错缺陷揭示两个方面对碲锌镉衬底的表面处理研究进行了详细介绍。从表面处理机理和工艺参数对衬底表面的影响两个方面介绍了机械研磨、机械抛光、化学机械抛光以及化学抛光4种表面处理工艺。同时,介绍了能揭示碲锌镉不同晶向表面的位错缺陷的Everson、Nakagawa及EAg三种化学腐蚀液。
- 江先燕丛树仁宁卓起文斌刘燕宋林伟孔金丞
- 关键词:表面处理
- 一种高面形质量的碲锌镉晶片加工方法
- 本发明公开了一种高面形质量的碲锌镉晶片加工方法,该方法将对碲锌镉晶片加工过程的不利因素,通过调整工艺步骤,将不利因素互相中和,以此达到制备高面形质量碲锌镉晶片的目的,即利用碲锌镉晶片磨抛过程中产生的损伤层应力对晶片造成的...
- 宁卓孔金丞宋林伟刘燕丛树仁王静宇郑要争江先燕刘文军
- 垂直型ITO/黑硅光电探测器及其制备方法
- 垂直型ITO/黑硅光电探测器及其制备方法,涉及光电器件成像技术领域,尤其是一种高性能垂直型ITO/黑硅可见‑近红外光电探测器的制备技术。该光电探测器基于n型硅衬底,正面为高掺杂浓度的p型层。器件背面的n型层为过饱和掺杂的...
- 张玉平唐利斌邓功荣吴刚袁绶章王博宋立媛赵鹏王静宇岳彪王海澎刘燕辛永刚王琼芳苏润洪魏虹姬玉龙黄俊博李红福李轶民敖雨彭秋思吴强
- 100 mm×100 mm液相外延碲镉汞薄膜技术进展
- 2024年
- 昆明物理研究所突破了φ150 mm碲锌镉单晶定向生长技术,实现了100 mm×100 mm碲锌镉衬底的小批量制备,位错腐蚀坑密度(EPD)≤4×10^(4) cm^(-2),沉积相尺寸小于5μm、沉积相密度小于5×10^(3) cm^(-2)。突破了大尺寸碲锌镉衬底表面处理以及大面积富碲水平推舟液相外延技术,实现了100 mm×100 mm大尺寸短波、中波碲镉汞薄膜材料的制备,薄膜表面质量优异,厚度极差优于±1.25μm,组分极差优于±0.0031,是目前国际上报道的最大面积碲锌镉衬底基碲镉汞薄膜材料。该材料为10k×10k及以上亿像素规模红外探测器的研制、4k×4k等规模大面阵红外探测器的量产奠定了坚实的基础。
- 邓文斌宋林伟孔金丞姜军杨晋起文斌万志远刘燕荣徽宇许江明杨翔朱逊郑要争姬荣斌
- 关键词:液相外延碲锌镉碲镉汞
- 一种具有两个节流孔的微型汉普逊节流制冷器
- 本发明公开一种具有两个节流孔的微型汉普逊的节流制冷器,由高压进气接口、外芯轴,汉普逊回热换热器(肋片管)、节流阀、内芯轴、流量调节器和节流阀针组成。与传统的微型汉普逊节流制冷器不同的是,本发明所公开的微型汉普逊节流制冷器...
- 周建李家鹏邱杰聂喜亮环健刘燕
- 文献传递
- 一种具有两个节流孔的微型汉普逊节流制冷器
- 本发明公开一种具有两个节流孔的微型汉普逊的节流制冷器,由高压进气接口、外芯轴,汉普逊回热换热器(肋片管)、节流阀、内芯轴、流量调节器和节流阀针组成。与传统的微型汉普逊节流制冷器不同的是,本发明所公开的微型汉普逊节流制冷器...
- 周建李家鹏邱杰聂喜亮环健刘燕
- 文献传递
- 一种应用于微型节流制冷器的回流稳压结构
- 本发明公开一种应用于微型节流制冷器的回流稳压结构,由集气法兰、出气接头、排气喷管、密封圈等组成,回流稳压结构布置在杜瓦和微型节流制冷器的尾端。本发明公开的回流稳压结构充分利用了杜瓦‑制冷组件尾端的空间,当节流制冷器工作时...
- 周建陈军李家鹏刘燕环健赵琳珊
- 文献传递
- 微型脉冲管制冷机调相部件的数值模拟和实验研究
- 2017年
- 由于脉冲管制冷机冷端没有运动部件,具有可靠性高、寿命长、振动小等优点,非常适合应用于空间领域。本文介绍了一款微型脉冲管制冷机的基本结构、数值模拟和实验性能,其线性压缩机采用动磁式结构,板弹簧支撑和间隙密封技术,膨胀机的蓄冷器和脉冲管为同轴型布置,这种结构使冷头与器件之间的耦合非常方便。使用SAGE软件对脉冲管制冷机的调相机构进行数值模拟,并对模拟结果进行实验验证。
- 熊超夏明陈军黄伟习中立邹丁立苏俊环健刘燕
- 关键词:数值模拟
- 一种碲锌镉晶片面形控制方法
- 本发明公开了一种碲锌镉晶片面形控制方法,该方法首先需确定实际工艺条件下碲锌镉晶片损伤层厚度和面形随磨抛工艺过程中的普适变化情况;结合分析结果,在每次碲锌镉晶片表面处理前,通过化学腐蚀的方法去除碲锌镉晶片双面的损伤层;同时...
- 宋林伟宁卓徐浩刘燕丛树仁起文斌帅鹏彭凝杨晋张伟伟