林星
- 作品数:2 被引量:2H指数:1
- 供职机构:浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:机械工程理学电子电信更多>>
- 基于LIGA技术的光热驱动微开关研究被引量:2
- 2011年
- 设计制作了一种三角形结构的金属材料光热驱动微开关。通过理论分析和ANSYS仿真,揭示了光热偏转量与三角形结构的微悬臂倾角之间的相互关系;基于同步辐射光源及LIGA技术,以金属镍(Ni)为基底材料,微加工制作出一个微悬臂长度1435μm、倾角6°的微开关器件;利用光热驱动控制与显微视频监控系统,进行了光热驱动及偏转量检测实验。实验结果表明,在波长808nm、功率135mW的半导体激光控制下,可产生约20μm的最大光热偏转量,从而验证了这一金属材料光热驱动微开关的可行性;同时,为设计制作基于金属材料的其他微型光热驱动器件及实际应用提供了技术基础。
- 林星赵冬伟王波伊福廷张冬仙
- 关键词:LIGA微开关ANSYS仿真
- 基于微纳光纤-量子点体系的腔量子电动力学及单光子源研究
- 高效的单光子源是实现光量子信息实用化的关键之一,其中基于二能级系统的凝聚态单光子发射源由于体积微小、便于集成等优点而备受关注。然而此类发射源具有自发辐射各向同性等不利于应用的性质,因此有效利用腔量子电动力学效应,在光学微...
- 林星徐颖鑫方伟
- 关键词:单光子源量子电动力学量子点