赵冬伟
- 作品数：7 被引量：3H指数：1
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 基于LIGA技术的光热驱动微开关研究被引量：2
- 2011年
- 设计制作了一种三角形结构的金属材料光热驱动微开关。通过理论分析和ANSYS仿真,揭示了光热偏转量与三角形结构的微悬臂倾角之间的相互关系;基于同步辐射光源及LIGA技术,以金属镍(Ni)为基底材料,微加工制作出一个微悬臂长度1435μm、倾角6°的微开关器件;利用光热驱动控制与显微视频监控系统,进行了光热驱动及偏转量检测实验。实验结果表明,在波长808nm、功率135mW的半导体激光控制下,可产生约20μm的最大光热偏转量,从而验证了这一金属材料光热驱动微开关的可行性;同时,为设计制作基于金属材料的其他微型光热驱动器件及实际应用提供了技术基础。
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- 关键词：LIGA微开关ANSYS仿真
- 基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文)
- 2011年
- 提出了基于光热(PT)微膨胀原理的新型光热微驱动技术.设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器.以AutoCAD设计图为基础,采用KrF准分子激光微加工系统,在单层高密度聚乙烯(HDPE)上加工出长1 500μm、宽250μm、厚40μm的开关式光热微驱动器.从微驱动器的扫描电子显微镜(SEM)图可以看出,微驱动器形状与AutoCAD设计值符合良好.光热微驱动实验采用脉冲频率可调的半导体激光器(4 mW,650 nm)作为驱动源.实验结果表明,在一定的脉冲频率范围(如0～17 Hz)内,光热微驱动器具有良好的静态和动态特性,其横向偏转量最大可达11μm,足以实现微开关功能.这种光热微驱动器可由激光束直接控制,具有原理新颖、结构简洁、体积小、易于加工制作等特点,在微纳米技术领域和微光机电系统(MOEMS)中具有广阔的应用前景.
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- 关键词：微加工微驱动动态特性激光
- 一种金属光热驱动微开关及其制作方法
- 本发明公开了一种金属光热驱动微开关及其制作方法。本发明采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，...
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- 文献传递
- 一种金属光热驱动微开关
- 本实用新型公开了一种金属光热驱动微开关。本实用新型采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，将激...
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- 文献传递
- 基于LIGA技术的光热微驱动机构研究
- 微纳米技术及微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical System，MOEMS)代表着未来科技的发展趋势。微驱动机构作为MOEMS的重要组成部分，已成为各国学者研究的热点。本文提出了一种新...
- 赵冬伟
- 关键词：微驱动技术LIGA技术
- 基于形状记忆合金的微小型光热驱动马达被引量：1
- 2011年
- 在分析了形状记忆合金双程记忆效应原理的基础上,采用铜锌铝双向记忆合金片,设计并加工制作了两种微小型光热驱动马达,对其进行了驱动实验研究。研究结果表明,用输出波长为1064nm的YAG脉冲激光作为光热驱动马达的驱动源,在适当的输出功率和频率下,棘轮棘爪型光热驱动马达可获得较精确的步距,齿轮传动型光热驱动马达可获得较高的转速。这类用激光作为驱动源的微小型光热驱动马达易于小型化,真正实现无线遥控,有望在微光机电系统获得广泛应用。
- 史斌赵冬伟张冬仙章海军
- 关键词：激光形状记忆合金
- 一种金属光热驱动微开关及其制作方法
- 本发明公开了一种金属光热驱动微开关及其制作方法。本发明采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，...
- 张冬仙赵冬伟章海军伊福廷王波
