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文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇陶瓷封装
  • 3篇体声波
  • 3篇体声波谐振器
  • 3篇谐振器
  • 3篇芯片
  • 3篇芯片管脚
  • 3篇剪切波
  • 3篇管脚
  • 3篇封装
  • 2篇微弱磁场
  • 2篇磁测量
  • 1篇电极
  • 1篇磁流体

机构

  • 3篇中国船舶重工...

作者

  • 3篇闻心怡
  • 3篇尤晓健
  • 3篇陈刚
  • 3篇马剑
  • 2篇廖庆斌
  • 2篇陈梦珂
  • 2篇姚蓉
  • 1篇董海防

年份

  • 1篇2023
  • 2篇2017
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
磁传感器阵列集成结构及其制作方法
本发明公布了一种磁传感器阵列集成结构及其制作方法,所述磁传感器阵列由偏置磁铁、体声波谐振器阵列芯片、芯片管脚、陶瓷封装基座、磁流体和玻璃覆片组成。所述体声波谐振器阵列芯片包括:硅衬底、布拉格声反射层、底电极、压电薄膜层、...
闻心怡廖庆斌尤晓健陈梦珂姚蓉马剑陈刚
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磁传感器阵列集成结构及其制作方法
本发明公布了一种磁传感器阵列集成结构及其制作方法,所述磁传感器阵列由偏置磁铁、体声波谐振器阵列芯片、芯片管脚、陶瓷封装基座、磁流体和玻璃覆片组成。所述体声波谐振器阵列芯片包括:硅衬底、布拉格声反射层、底电极、压电薄膜层、...
闻心怡廖庆斌尤晓健陈梦珂姚蓉马剑陈刚
磁传感器阵列集成结构
本实用新型涉及一种磁传感器阵列集成结构,所述磁传感器阵列由偏置磁铁、体声波谐振器阵列芯片、芯片管脚、陶瓷封装基座、磁流体和玻璃覆片组成。所述体声波谐振器阵列芯片包括:硅衬底、布拉格声反射层、底电极、压电薄膜层、顶电极、过...
闻心怡尤晓健董海防蔡如桦刘禹希马剑陈刚
文献传递
共1页<1>
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