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尤晓健
作品数:
3
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供职机构:
中国船舶重工集团公司第七一九研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
马剑
中国船舶重工集团公司第七一九研...
陈刚
中国船舶重工集团公司第七一九研...
闻心怡
中国船舶重工集团公司第七一九研...
姚蓉
中国船舶重工集团公司第七一九研...
陈梦珂
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作者
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闻心怡
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尤晓健
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陈刚
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马剑
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陈梦珂
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1篇
2023
2篇
2017
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磁传感器阵列集成结构及其制作方法
本发明公布了一种磁传感器阵列集成结构及其制作方法,所述磁传感器阵列由偏置磁铁、体声波谐振器阵列芯片、芯片管脚、陶瓷封装基座、磁流体和玻璃覆片组成。所述体声波谐振器阵列芯片包括:硅衬底、布拉格声反射层、底电极、压电薄膜层、...
闻心怡
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马剑
陈刚
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磁传感器阵列集成结构及其制作方法
本发明公布了一种磁传感器阵列集成结构及其制作方法,所述磁传感器阵列由偏置磁铁、体声波谐振器阵列芯片、芯片管脚、陶瓷封装基座、磁流体和玻璃覆片组成。所述体声波谐振器阵列芯片包括:硅衬底、布拉格声反射层、底电极、压电薄膜层、...
闻心怡
廖庆斌
尤晓健
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磁传感器阵列集成结构
本实用新型涉及一种磁传感器阵列集成结构,所述磁传感器阵列由偏置磁铁、体声波谐振器阵列芯片、芯片管脚、陶瓷封装基座、磁流体和玻璃覆片组成。所述体声波谐振器阵列芯片包括:硅衬底、布拉格声反射层、底电极、压电薄膜层、顶电极、过...
闻心怡
尤晓健
董海防
蔡如桦
刘禹希
马剑
陈刚
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