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魏珂

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇镀膜
  • 1篇多功能机
  • 1篇四合一
  • 1篇溅射
  • 1篇光刻
  • 1篇SIR

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇韩阶平
  • 1篇刘辉
  • 1篇田如江
  • 1篇魏珂

传媒

  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SIRP-1型四合一多功能机及工艺研究
韩阶平魏珂田如江刘辉
关键词：多功能机光刻镀膜
文献传递网络资源链接
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共1页<1>
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