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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇全息

机构

  • 1篇长春理工大学
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 1篇任智斌
  • 1篇张磊
  • 1篇姜会林
  • 1篇付跃刚
  • 1篇齐向东
  • 1篇李文昊
  • 1篇田继文

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
微柱透镜阵列的全息-光刻胶热熔制作技术被引量:1
2006年
为改善微柱透镜阵列的制作技术、消除光刻工艺对光刻掩模版的依赖,研究了利用全息-热熔技术制作微柱透镜阵列的新方法,即首先采用了全息技术进行曝光,然后利用光刻胶热熔技术在K9玻璃基底上制作出了面形良好的微柱透镜阵列。实验结果表明,进行全息曝光并显影后,能够在光刻胶表面产生良好的正弦阵列表面结构,之后采用光刻胶热熔技术可将光刻胶的正弦阵列结构转变为微柱透镜阵列,且实验结果良好。
任智斌姜会林付跃刚张磊田继文齐向东李文昊
共1页<1>
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