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李文昊
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
田继文
长春理工大学光电工程学院
齐向东
中国科学院长春光学精密机械与物...
付跃刚
长春理工大学光电工程学院
姜会林
长春理工大学光电工程学院
张磊
长春理工大学光电工程学院
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作者
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任智斌
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姜会林
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付跃刚
1篇
齐向东
1篇
李文昊
1篇
田继文
传媒
1篇
微细加工技术
年份
1篇
2006
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微柱透镜阵列的全息-光刻胶热熔制作技术
被引量:1
2006年
为改善微柱透镜阵列的制作技术、消除光刻工艺对光刻掩模版的依赖,研究了利用全息-热熔技术制作微柱透镜阵列的新方法,即首先采用了全息技术进行曝光,然后利用光刻胶热熔技术在K9玻璃基底上制作出了面形良好的微柱透镜阵列。实验结果表明,进行全息曝光并显影后,能够在光刻胶表面产生良好的正弦阵列表面结构,之后采用光刻胶热熔技术可将光刻胶的正弦阵列结构转变为微柱透镜阵列,且实验结果良好。
任智斌
姜会林
付跃刚
张磊
田继文
齐向东
李文昊
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