齐向东
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 供职机构：长春理工大学光电工程学院更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 微柱透镜阵列的全息-光刻胶热熔制作技术被引量：1
- 2006年
- 为改善微柱透镜阵列的制作技术、消除光刻工艺对光刻掩模版的依赖,研究了利用全息-热熔技术制作微柱透镜阵列的新方法,即首先采用了全息技术进行曝光,然后利用光刻胶热熔技术在K9玻璃基底上制作出了面形良好的微柱透镜阵列。实验结果表明,进行全息曝光并显影后,能够在光刻胶表面产生良好的正弦阵列表面结构,之后采用光刻胶热熔技术可将光刻胶的正弦阵列结构转变为微柱透镜阵列,且实验结果良好。
- 任智斌姜会林付跃刚张磊田继文齐向东李文昊
- 干涉法在光栅波前检测中的应用研究被引量：4
- 2011年
- 主要针对凹面衍射光栅波前检测方法进行研究。实验光路的搭建基于泰曼干涉仪检测原理,针对凹面光栅检测进行相应的改进,成功获得凹面光栅零级和一级干涉条纹,从而证明了用干涉法检验凹面光栅衍射波前的可行性,为凹面光栅的加工质量检测提供了理论依据。
- 吴迪齐向东车英郭林炀
- 关键词：衍射光栅波前像差
