任子明
- 作品数：13 被引量：18H指数：3
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省自然科学基金国防科技重点实验室基金更多>>
- 相关领域：理学交通运输工程一般工业技术电子电信更多>>
- 面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构
- 本发明为一种面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构，解决了平台振动对海洋湍流探测干扰极大等技术瓶颈问题。本发明包括底座、湍流传感器和补偿传感器，湍流传感器由第一中空壳体、第一传感芯片、保护罩和保护柱组成；补偿传...
- 王任鑫张国军任子明白冰薛晨阳
- 文献传递
- 集成硅纤毛的MEMS矢量水听器的压阻特性
- 2021年
- 水听器是水下探测的主要仪器,通过对其结构的研究和改进可显著提升其性能。针对现阶段矢量水听器所采用的纤毛二次集成方式所造成的一致性误差较大的问题,以硅纳米膜作为压敏单元,设计了一种新型基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式矢量水听器。通过理论及仿真确定最优尺寸,进行一体化工艺流程的设计,将硅纤毛直接集成在二氧化硅梁上,既提高了对准的精度,又缩小了整体尺寸。对制备的水听器芯片进行测试,得到了压敏单元的I-V特性。测试结果表明其阻值达到7 kΩ,同时测得该压敏单元的压阻系数为3.12×10^(-9) Pa^(-1),相比于传统p型[110]体硅压敏单元的压阻系数提高了约4.35倍,压阻系数的提升可以有效提高水听器的灵敏度。此设计能够优化水听器的性能,可为后续水听器的研究和改进提供新的思路。
- 齐秉楠王任鑫史一明苗晋威任子明
- MEMS湍流传感器的封装方法
- 本发明涉及海洋湍流探测，具体是一种MEMS湍流传感器封装方法。本发明针对MEMS湍流传感器在海中应用可靠性封装的技术瓶颈问题，提出Parylene薄膜淀积、保护罩、保护杆和中空壳体结合的保护方式，解决电绝缘、防腐蚀、耐高...
- 王任鑫张国军白冰刘梦然任子明薛晨阳
- 一种MEMS二维湍流传感器结构及其制备方法
- 本发明涉及海洋湍流探测领域，具体是一种MEMS二维湍流传感器结构及其制备方法，包括SOI基片，SOI基片的顶层硅被刻蚀至埋氧层并被刻蚀成中心圆盘结构，埋氧层被刻蚀形成“田”字型结构，中心圆盘位于“田”字型结构的十字悬臂梁...
- 王任鑫张国军任子明白冰薛晨阳
- 基于梳齿式电容加速度计的深硅刻蚀被引量：8
- 2017年
- 梳齿式电容加速度计对梳齿的形貌有很高的要求,如需要梳齿侧壁具有良好的垂直度和粗糙度等。利用深硅刻蚀机对梳齿结构进行加工需要对刻蚀参数进行分析和调整。以SF_6和C_4F_8为刻蚀气体,设定深硅刻蚀中极板功率、腔室压力、刻蚀/钝化周期、气体流量等工艺参数,着重研究了刻蚀速率、垂直度、粗糙度、光刻胶选择比、均匀性等直接影响刻蚀形貌的几项因素,得到了宽5.3μm、深50μm的沟槽结构,且垂直度为89.5°,侧壁凸起高度为83.69 nm,而预期目标为垂直度90°±2°,侧壁凸起高度小于120 nm,故结果符合要求。最终将调整好的工艺用于刻蚀SOI片上的梳齿结构,得到了良好的形貌。
- 任子明白冰王任鑫张国军
- 关键词：刻蚀速率垂直度选择比均匀性
- 一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法
- 本发明涉及矿用MEMS风速计，具体是一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法。一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法，包括以下步骤：（a）Parylene薄膜淀积：在矢量风速计外表面上采用CVD方法淀积2微米厚的P...
- 王任鑫张国军任子明白冰贾传令薛晨阳
- 文献传递
- 应用于芯片原子钟的微碱金属气室制备与研究被引量：4
- 2018年
- 利用感应耦合等离子体深硅刻蚀机与阳极键合机,制备出了应用于芯片原子钟的碱金属气室。以AZ4620光刻胶为硅片掩模,研究了深硅刻蚀后硅表面的形貌特征,对比了不同结构下深硅刻蚀速率。经过阳极键合,获得了三明治结构的微碱金属气室,并检测其饱和吸收谱线。实验结果表明:制备出的微碱金属气室在温度为80℃条件下出现明显的饱和吸收现象。
- 汤跃任子明李云超胡旭文张彦军闫树斌
- 关键词：感应耦合等离子体阳极键合
- 硅纤毛/纳米膜一体化集成的MEMS矢量水听器结构设计与工艺制备
- 矢量水听器由于体积小、重量轻、布放方便,特别适合于声呐浮标的使用要求,然而,针对目前水听器纤毛粘接方式一致性差、对准精度不高的问题,本文提出了硅纤毛一体化工艺制备,通过深硅刻蚀机刻蚀SOI片背面衬底硅,刻蚀出硅纤毛柱体结...
- 任子明
- 关键词：MEMS矢量水听器
- 文献传递
- 一种MEMS二维湍流传感器结构及其制备方法
- 本发明涉及海洋湍流探测领域，具体是一种MEMS二维湍流传感器结构及其制备方法，包括SOI基片，SOI基片的顶层硅被刻蚀至埋氧层并被刻蚀成中心圆盘结构，埋氧层被刻蚀形成“田”字型结构，中心圆盘位于“田”字型结构的十字悬臂梁...
- 王任鑫张国军任子明白冰薛晨阳
- 文献传递
- MEMS湍流传感器的封装方法
- 本发明涉及海洋湍流探测，具体是一种MEMS湍流传感器封装方法。本发明针对MEMS湍流传感器在海中应用可靠性封装的技术瓶颈问题，提出Parylene薄膜淀积、保护罩、保护杆和中空壳体结合的保护方式，解决电绝缘、防腐蚀、耐高...
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- 文献传递
