汤跃
- 作品数：15 被引量：20H指数：3
- 供职机构：中北大学信息与通信工程学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省自然科学基金山西省回国留学人员科研经费资助项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学交通运输工程一般工业技术更多>>
- 基于各向同性干法刻蚀的大面积悬空Al膜制备
- 2018年
- 热声传感器随着多孔硅的热致超声发射现象的发现越来越受到关注。热声传感器通过改变器件表面热量而在周围空气中产生交变压力,从而向外发出声波。热声传感器的关键器件是悬空金属薄膜。制备大面积悬空薄膜释放有一定的难度,需要考虑金属薄膜本身的应力与粘附效应。该文提出了两种基于各向同性干法刻蚀的制备金属薄膜的方法,利用XeF2/SF6制备悬空Al膜。由于XeF2与SF6气体刻蚀硅时对于Al有较高的选择比,XeF2对于硅是各向同性刻蚀且有很高的刻蚀速率,而通过设置感应耦合等离子体(ICP)刻蚀机的参数也可利用SF6达到各向同性刻蚀。基于上述特点制备了悬空Al膜,设计相应的制备流程,探索XeF2刻蚀机与ICP刻蚀机合适的刻蚀参数。所制备的悬空Al膜平整、无杂质,具有良好的形貌。
- 任子明汤跃赵菲王任鑫张国军孟国栋
- 关键词：各向同性
- 端面耦合纳米光波导双光路芯片级磁强计
- 本实用新型公开了一种端面耦合纳米光波导双光路芯片级磁强计，包括激光器，所述激光器出射的光束通过端面耦合输入端I耦合进入Y波导分束器，其中一束光经过相位调制单元后输出，另外一束光经调节补偿后输出，两路光束再分别经过垂直耦合...
- 闫树斌张彦军张志东汤跃薛晨阳张文栋
- 文献传递
- 端面耦合纳米光波导双光路芯片级原子钟
- 本发明公开了一种端面耦合纳米光波导双光路芯片级原子钟，包括激光器，所述激光器出射的光束通过端面耦合输入端耦合进入Y波导分束器，其中一束光经过相位调制单元后输出，另外一束光经调节补偿后输出，两路光束再分别经过垂直耦合光栅<...
- 闫树斌张志东崔建功汤跃张文栋薛晨阳
- 文献传递
- 垂直耦合纳米光波导双光路芯片级磁强计
- 本实用新型公开了一种垂直耦合纳米光波导双光路芯片级磁强计，包括激光器，所述激光器出射的光束通过垂直耦合光栅Ⅰ耦合进入Y波导分束器，其中一束光经过相位调制单元后输出，另外一束光经调节补偿后输出，两路光束再分别经过垂直耦合光...
- 闫树斌张彦军张志东汤跃薛晨阳张文栋
- 文献传递
- 垂直耦合纳米光波导双光路芯片级磁强计
- 本发明公开了一种垂直耦合纳米光波导双光路芯片级磁强计，包括激光器，所述激光器出射的光束通过垂直耦合光栅<Image file="DEST_PATH_IMAGE001.GIF" he="25" imgContent="dr...
- 闫树斌张彦军张志东汤跃薛晨阳张文栋
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- 垂直耦合纳米光波导双光路芯片级原子钟
- 本发明公开了一种垂直耦合纳米光波导双光路芯片级原子钟，包括激光器，所述激光器出射的光束通过垂直耦合光栅Ⅰ耦合进入Y波导分束器，其中一束光经过相位调制单元后输出，另外一束光经调节补偿后输出，两路光束再分别经过垂直耦合光栅Ⅰ...
- 闫树斌张志东崔建功汤跃张文栋薛晨阳
- 文献传递
- 端面耦合纳米光波导双光路芯片级磁强计
- 本发明公开了一种端面耦合纳米光波导双光路芯片级磁强计，包括激光器，所述激光器出射的光束通过端面耦合输入端Ⅰ耦合进入Y波导分束器，其中一束光经过相位调制单元后输出，另外一束光经调节补偿后输出，两路光束再分别经过垂直耦合光栅...
- 闫树斌张彦军张志东汤跃薛晨阳张文栋
- 文献传递
- 应用于芯片原子钟的微碱金属气室制备与研究被引量：4
- 2018年
- 利用感应耦合等离子体深硅刻蚀机与阳极键合机,制备出了应用于芯片原子钟的碱金属气室。以AZ4620光刻胶为硅片掩模,研究了深硅刻蚀后硅表面的形貌特征,对比了不同结构下深硅刻蚀速率。经过阳极键合,获得了三明治结构的微碱金属气室,并检测其饱和吸收谱线。实验结果表明:制备出的微碱金属气室在温度为80℃条件下出现明显的饱和吸收现象。
- 汤跃任子明李云超胡旭文张彦军闫树斌
- 关键词：感应耦合等离子体阳极键合
- SOI环形光波导谐振腔双层石墨烯调制器(英文)被引量：2
- 2015年
- 在片上光互连系统中,电光调制器起到将电信号调制为光信号的作用,是光互联系统中的核心部件之一。调制器的3dB带宽决定着载波所能携带的最大信息量,是衡量调制器性能的核心参数。利用石墨烯和高Q环形谐振腔设计成具有CMOS结构的新型调制器,其集成了石墨烯的宽带吸收、载流子迁移率高等材料优势和高Q值环形光学谐振腔的光程放大的结构优势,通过理论计算,其3dB调制带宽可以达到100GHz。同时,基于微环谐振腔的石墨烯电光调制器结构可以方便的与光互联系统中的波分复用器相集成,从而提升片上光互联系统的集成度和降低技术复杂性。
- 李艳娜汤跃韦丽萍王永华刘耀英薛晨阳
- 关键词：电光调制器微环谐振腔3DB带宽
- 芯片原子钟原子气室的研究进展被引量：10
- 2018年
- 在微型定位、导航、授时(Micro-PNT)系统中,芯片原子钟(CSAC)作为微型时钟模块的核心,其发展关乎到Micro-PNT系统的定位精度与授时能力。原子气室作为芯片原子钟的"心脏",其制备工艺直接决定着原子钟的体积、稳定度与功耗等多项性能指标。随着原子钟功耗的降低与体积的减小,加工制造出与之相适应的微型原子气室势在必行。从玻璃吹制法与微电子机械系统(MEMS)超精细加工法两个方面介绍了原子气室的加工工艺,综述了其研究进展,并分析了目前微型原子气室在制备工艺中存在的不足,对未来原子气室制备工艺的进一步优化具有一定的参考作用。
- 李云超胡旭文刘召军汤跃汤跃金文张彦军
- 关键词：导航授时
