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廖宗廷
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院化学研究所
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相关领域:
自然科学总论
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合作作者
曾荣树
同济大学
张训彪
中国科学院地质与地球物理研究所
卢德生
中国地质科学院矿产资源研究所
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同济大学
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作者
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张训彪
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廖宗廷
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曾荣树
年份
1篇
2006
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2
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纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10NM~500NM的点或线的间距。
张训彪
曾荣树
廖宗廷
卢德生
刘芬
李戎
周剑雄
邓保庆等
关键词:
显微镜
电子装置
纳米
光学扫描器
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