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郑国光
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2
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供职机构:
比亚迪汽车股份有限公司
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合作作者
冯卫
比亚迪汽车股份有限公司
陈宇
比亚迪汽车股份有限公司
刘海强
比亚迪汽车股份有限公司
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作者
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刘海强
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陈宇
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郑国光
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冯卫
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1篇
2014
1篇
2011
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一种将硅麦克风器件与集成电路单片集成的方法及芯片
本发明所提供的一种将硅麦克风器件与集成电路单片集成的方法,将硅麦克风器件和集成电路的制作交叉进行,先将硅麦克风器件的可动极板和固定极板以及制作于硅片的第一表面,之后再将相应的集成电路制作于硅片上相对于第一表面的第二表面,...
詹清颖
刘海强
郑国光
陈宇
冯卫
一种将硅麦克风器件与集成电路单片集成的方法及芯片
本发明所提供的一种将硅麦克风器件与集成电路单片集成的方法,将硅麦克风器件和集成电路的制作交叉进行,先将硅麦克风器件的可动极板和固定极板以及制作于硅片的第一表面,之后再将相应的集成电路制作于硅片上相对于第一表面的第二表面,...
詹清颖
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