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刘海强
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陈宇
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姚金才
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冯卫
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郑国光
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王韬
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一种红外探测器封装结构及其制作方法
本发明提供一种红外探测器封装结构及其制作方法,所述方法包括在衬底的同一表面上形成红外光反射层和底接触电极,在所述红外光反射层和底接触电极上形成由探测器第一牺牲层释放后的第一空间层,在所述第一空间层上部分覆盖敏感材料探测层...
姚金才
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陈宇
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一种红外探测器封装结构及其制作方法
本发明提供一种红外探测器封装结构及其制作方法,所述方法包括在衬底的同一表面上形成红外光反射层和底接触电极,在所述红外光反射层和底接触电极上形成由探测器第一牺牲层释放后的第一空间层,在所述第一空间层上部分覆盖敏感材料探测层...
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一种将硅麦克风器件与集成电路单片集成的方法及芯片
本发明所提供的一种将硅麦克风器件与集成电路单片集成的方法,将硅麦克风器件和集成电路的制作交叉进行,先将硅麦克风器件的可动极板和固定极板以及制作于硅片的第一表面,之后再将相应的集成电路制作于硅片上相对于第一表面的第二表面,...
詹清颖
刘海强
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一种将硅麦克风器件与集成电路单片集成的方法及芯片
本发明所提供的一种将硅麦克风器件与集成电路单片集成的方法,将硅麦克风器件和集成电路的制作交叉进行,先将硅麦克风器件的可动极板和固定极板以及制作于硅片的第一表面,之后再将相应的集成电路制作于硅片上相对于第一表面的第二表面,...
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