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张濛
作品数:
135
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供职机构:
西安电子科技大学
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相关领域:
电子电信
化学工程
自动化与计算机技术
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合作作者
马晓华
西安电子科技大学
杨凌
西安电子科技大学
郝跃
西安电子科技大学
侯斌
西安电子科技大学
武玫
西安电子科技大学
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作者
135篇
张濛
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马晓华
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杨凌
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侯斌
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郝跃
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2016
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基于准垂直MPS的单片集成二极管限幅单元及制备方法
本发明公开了一种基于准垂直MPS的单片集成二极管限幅单元及制备方法,限幅单元包括位于硅衬底上的两个硅基GaN准垂直MPS,形成正向和反向限幅二极管;钝化层覆盖两个MPS和硅衬底;薄膜保护电阻位于钝化层内;第一互连金属将电...
杨凌
侯斌
常青原
芦浩
朱宥军
马晓华
张濛
武玫
郝跃
一种GaN HEMT器件与p型金刚石MOSFET的集成器件及其制备方法
本发明公开了一种GaN HEMT器件与p型金刚石MOSFET的集成器件及其制备方法,包括:金刚石衬底层、GaN缓冲层、AlGaN势垒层、介质层、p型金刚石层和栅介质层;AlGaN势垒层上设置有第一源电极和第一漏电极以及第...
马晓华
武玫
李仕明
杨凌
张濛
侯斌
郝跃
文献传递
基于超临界流体处理工艺的多沟道HEMTs及制备方法
本发明涉及一种基于超临界流体处理工艺的多沟道HEMTs及制备方法,制备方法包括:在衬底层表面依次生长缓冲层、多沟道异质结结构和帽层,多沟道异质结结构包括层叠的至少两个二维电子气沟道结构;在靠近衬底层的二维电子气沟道上方制...
朱青
郭思音
陈怡霖
张濛
宓珉瀚
祝杰杰
马晓华
基于n型氧化镓和p型金刚石的垂直功率MOSFET及其制备方法
本发明公开了一种基于n型氧化镓和p型金刚石的垂直功率MOSFET,包括n<Sup>+</Sup>‑Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>衬底层、n<Sup>‑</Sup>‑Ga<Sub>2</Sub>O<...
侯斌
马晓华
贾富春
陈孝升
杨凌
张濛
武玫
郝跃
一种基于准垂直JTE SBD的单片集成倍压整流器件
本发明公开了一种基于准垂直JTE SBD的单片集成倍压整流器件,包括:两个准垂直JTE SBD,分别形成第一和第二充电二极管;钝化层,位于其内部的第一层金属:第一电容阴极板、第二电容阳极板、第一和第二充电二极管阴极;位于...
侯斌
杨凌
朱宥军
马晓华
常青原
张濛
武玫
芦浩
杜佳乐
郝跃
一种GaN低寄生钝化器件及其制备方法
本发明公开了一种GaN低寄生钝化器件及其制备方法,该器件包括:衬底层;GaN外延层,形成于衬底层上;源电极,形成于GaN外延层上;漏电极,形成于GaN外延层上;第一钝化层,形成于GaN外延层上;第二钝化层,形成于第一钝化...
马晓华
芦浩
杨凌
侯斌
邓龙格
陈炽
武玫
张濛
郝跃
文献传递
具有三维T型栅的多沟道Fin HEMT器件的制备方法
本发明公开了一种具有三维T型栅的多沟道Fin HEMT器件的制备方法,涉及半导体技术领域,本发明的具有三维T型栅的多沟道Fin HEMT器件的制备方法,针对多沟道射频器件的高深度侧壁结构,开发了适用于该结构的T型栅整体工...
张濛
刘文韬
张鹏
祝杰杰
马晓华
基于栅下电场调制的高工作电压射频功率器件及制备方法
本发明涉及一种基于栅下电场调制的高工作电压射频功率器件及制备方法,该器件包括:衬底层;缓冲层,位于衬底层上;沟道层,位于缓冲层上;源极,位于沟道层的一端;漏极,位于沟道层的另一端;插入层,位于沟道层上,且位于源极和漏极之...
张濛
郭思音
马晓华
陈怡霖
宓珉瀚
朱青
一种基于GaN异质结材料的Fin-HEMT器件及其制备方法
本发明提供了一种基于GaN异质结材料的Fin?HEMT器件及其制备方法,器件包括衬底、异质结材料、Fin结构,以及栅金属,所述异质结材料设置在衬底上表面,Fin结构包括多个平行且间隔设置的Fin,栅金属设置在Fin结构上...
张鹏
宓珉翰
何云龙
张濛
马晓华
郝跃
文献传递
一种用于提升线性度的GaN HEMT器件及其制备方法
本发明公开了一种用于提升线性度的GaN HEMT器件及其制备方法,器件包括:衬底层;GaN缓冲层,设置在所述衬底层上;背靠背势垒层,设置在所述GaN缓冲层上,所述背靠背势垒层中的Al组分自上而下由x递增到y、再由y递减到...
宓珉瀚
马晓华
杜翔
王鹏飞
周雨威
安思瑞
龚灿
张濛
朱青
郝跃
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