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张胜

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所更多>>
相关领域：化学工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇化学工程
  • 1篇理学

主题

  • 5篇冷却剂
  • 3篇电感线圈
  • 3篇电感耦合
  • 3篇电感耦合等离...
  • 3篇喷枪
  • 3篇离子
  • 2篇碳化硅
  • 2篇衬底
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇电化学腐蚀
  • 1篇多孔硅
  • 1篇精确控制
  • 1篇化学腐蚀
  • 1篇衬底温度

机构

  • 6篇中国科学院宁...

作者

  • 6篇高平奇
  • 6篇叶继春
  • 6篇邬苏东
  • 6篇张胜
  • 5篇韩灿
  • 5篇杨映虎

年份

  • 2篇2017
  • 3篇2015
  • 1篇2014
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备
本发明公开了一种电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备，其中，电感耦合等离子体喷枪包括放电室、气体导入装置、冷却装置和电感线圈；放电室由第一空心管材围设而成，第一空心管材为氮化硅管或碳化硅管；气体导入装置与放电室连通；冷却装...
邬苏东叶继春高平奇杨映虎韩灿张胜
文献传递
电化学腐蚀制备多孔硅及多孔硅膜的自剥离
张胜吕刚邬苏东高平奇叶继春
衬底温度的控制方法、装置及薄膜沉积设备
本发明公开了一种衬底温度的控制方法、装置及薄膜沉积设备。其中，所述衬底置于中空的样品台上，所述样品台的中空区域通有流通的冷却剂，通过以下方式实现对衬底温度的控制：测量流入样品台的冷却剂的温度，得到流入温度；测量流出样品台...
叶继春韩灿邬苏东高平奇杨映虎张胜
文献传递
电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备
本发明公开了一种电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备，其中，电感耦合等离子体喷枪包括放电室、气体导入装置、冷却装置和电感线圈；放电室由第一空心管材围设而成，第一空心管材为氮化硅管或碳化硅管；气体导入装置与放电室连通；冷却装...
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电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备
本实用新型公开了一种电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备，其中，电感耦合等离子体喷枪包括放电室、气体导入装置、冷却装置和电感线圈；放电室由第一空心管材围设而成，第一空心管材为氮化硅管或碳化硅管；气体导入装置与放电室连通；冷...
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衬底温度的控制方法、装置及薄膜沉积设备
本发明公开了一种衬底温度的控制方法、装置及薄膜沉积设备。其中，所述衬底置于中空的样品台上，所述样品台的中空区域通有流通的冷却剂，通过以下方式实现对衬底温度的控制：测量流入样品台的冷却剂的温度，得到流入温度；测量流出样品台...
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