您的位置： 专家智库 > >

张立超

作品数：14 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇中文专利

主题

  • 10篇半导体
  • 6篇报警
  • 4篇报警处理
  • 4篇报警事件
  • 2篇电偶
  • 2篇断点
  • 2篇旋转传感器
  • 2篇输入接口
  • 2篇数据交互
  • 2篇配置方法
  • 2篇热电偶
  • 2篇组别
  • 2篇耐久
  • 2篇耐久性
  • 2篇晶圆
  • 2篇机械手
  • 2篇工艺过程
  • 2篇故障报警
  • 2篇故障处理
  • 2篇分布式

机构

  • 14篇北京七星华创...

作者

  • 14篇张立超
  • 11篇钟结实
  • 8篇刘建涛
  • 5篇王亚宁
  • 5篇贾轶群
  • 2篇郑思远

年份

  • 5篇2016
  • 1篇2015
  • 8篇2014
共 14 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法
一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法，该方法包括：采用数据库设置并存储所有报警及其属性，其中，所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监...
王亚宁郑思远钟结实张立超
文献传递
半导体取放设备耐久性的检测方法
本发明公开了一种半导体取放设备耐久性的检测方法，包括取放设备执行硅片盒以及硅片的取放动作，检测系统的控制单元驱动数据采集单元采集第一伸缩传感器、第一旋转传感器、第二伸缩传感器、第二旋转传感器、第一位置传感器以及第二位置传...
贾轶群刘建涛钟结实张立超
文献传递
半导体工艺的报警处理方法
本发明公开了一种半导体工艺的报警处理方法，用于对半导体处理工艺的各工艺步骤所产生的不同报警事件进行相应的处理，所述报警处理方法包括对于每一个所述报警事件根据不同的所述工艺步骤设定对应的组别；其中，不同所述工艺步骤中，相同...
张立超刘建涛钟结实王亚宁
文献传递
一种用于半导体热处理设备温度的监控方法及系统
一种用于半导体热处理设备温度的监控方法，该方法包括：设置并获取配置文件；在工艺过程中，发送温度控制的指令和开启异步监控线程；获取所述热电偶监测温度的实际值，并根据产生警告范围值和产生终止范围值，判断超出所述产生警告范围值...
张立超钟结实刘建涛黄扬君
文献传递
一种晶盒仓储柜搁架的配置方法
本发明公开了一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，包括以下步骤：步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；步骤S2、控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；步骤S3、控制单元控制机械手取放晶盒，如同...
钟结实刘建涛黄扬君张立超
文献传递
桥接通讯模块及方法
本发明公开了一种桥接通讯模块，包括配置子模块和通讯子模块。其中，配置子模块存储配置文件，该配置文件记录用于在分布式管理系统和桥接通讯模块之间建立通讯的第一通讯信息和用于在设备管理系统和桥接通讯模块之间建立通讯的第二通讯信...
魏靖南黄扬君张立超王亚宁
文献传递
一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法
一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法，该方法包括：采用数据库设置并存储所有报警及其属性，其中，所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监...
王亚宁郑思远钟结实张立超
文献传递
一种半导体设备软件重启后状态恢复的方法
一种半导体设备软件重启后状态恢复的方法，该方法包括按照反射技术存储单元中记录的设备实际工艺模块属性层次架构，配置包含各实际工艺设备模块下属的所有晶圆承载器信息，以及各晶圆承载器内(下属)所有晶圆信息的记录文件；在工艺过程...
黄扬君贾轶群魏靖南张立超
文献传递
半导体工厂设备的分布式管理系统
本发明公开了一种半导体工厂设备的分布式管理系统，包括设备服务端，数据中心服务器以及远程终端。其中，设备服务端与半导体工厂内的各设备进行数据交互；数据中心服务器与设备服务端和远程终端相连，并进行数据交互；远程终端通过所述数...
魏靖南张立超钟结实贾轶群
文献传递
半导体工艺的报警处理方法
本发明公开了一种半导体工艺的报警处理方法，用于对半导体处理工艺的各工艺步骤所产生的不同报警事件进行相应的处理，所述报警处理方法包括对于每一个所述报警事件根据不同的所述工艺步骤设定对应的组别；其中，不同所述工艺步骤中，相同...
张立超刘建涛钟结实王亚宁
文献传递
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0