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刘建涛

作品数：22 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇中文专利

领域

  • 3篇自动化与计算...

主题

  • 8篇半导体
  • 6篇物料
  • 6篇物料供应
  • 4篇配置方法
  • 4篇系统模型
  • 4篇机械手
  • 4篇反馈控制
  • 4篇半导体工艺
  • 4篇报警
  • 3篇调度
  • 2篇电偶
  • 2篇调度方法
  • 2篇多线程
  • 2篇旋转传感器
  • 2篇压力计
  • 2篇用户
  • 2篇用户界面
  • 2篇原理图
  • 2篇通路
  • 2篇同类型

机构

  • 22篇北京七星华创...

作者

  • 22篇刘建涛
  • 19篇钟结实
  • 9篇王春洪
  • 8篇张立超
  • 6篇徐冬
  • 4篇王亚宁
  • 4篇贾轶群

年份

  • 2篇2017
  • 6篇2016
  • 2篇2015
  • 10篇2014
  • 2篇2012
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
半导体工艺的报警处理方法
本发明公开了一种半导体工艺的报警处理方法，用于对半导体处理工艺的各工艺步骤所产生的不同报警事件进行相应的处理，所述报警处理方法包括对于每一个所述报警事件根据不同的所述工艺步骤设定对应的组别；其中，不同所述工艺步骤中，相同...
张立超刘建涛钟结实王亚宁
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一种用于半导体热处理设备温度的监控方法及系统
一种用于半导体热处理设备温度的监控方法，该方法包括：设置并获取配置文件；在工艺过程中，发送温度控制的指令和开启异步监控线程；获取所述热电偶监测温度的实际值，并根据产生警告范围值和产生终止范围值，判断超出所述产生警告范围值...
张立超钟结实刘建涛黄扬君
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一种晶盒仓储柜搁架的配置方法
本发明公开了一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，包括以下步骤：步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；步骤S2、控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；步骤S3、控制单元控制机械手取放晶盒，如同...
钟结实刘建涛黄扬君张立超
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一种基于物料供应系统模型的工艺环境压力调度方法
一种基于物料供应系统模型的工艺环境压力调节方法，其包括根据物料供应系统特点建立传递函数反应模型；将进出舟阶段的反应腔室与微环境作为一个整体，形成组合腔室，引入参考输入偏差积分系统，建立增广状态状态方程；获取物料供应系统系...
刘建涛钟结实王春洪徐冬
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动态管路图的绘制与控制方法
本发明是一种动态管路图的绘制与控制方法，包括步骤：S101.利用设计好的控件搭建气路原理图中的气路；S102.将所述搭建好的气路用相互连接的顶点图的形式表示出来；S103.构建所述顶点图的连通矩阵；S104.根据所述连通...
王春洪钟结实周法福刘建涛
IO通讯方法
本发明公开了一种IO通讯方法，涉及硬件设备通信技术领域，包括以下步骤：A：将硬件设备的读写操作封装成标准的功能函数；B：将封装后的功能函数编译为动态链接库；C：加载所述动态链接库并调用其中的功能函数，来实现与硬件设备的通...
王春洪周法福刘建涛魏靖南
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一种基于串级控制的微环境压力调度方法
一种基于串级控制的微环境压力调度方法包括根据物料供应环境系统特点建立传递函数反应模型；引入参考输入偏差积分系统，建立增广状态状态方程；获取该环境系统系统状态反馈调节控制律；通过物料供应系统的闭环特征方程式求得控制律参数；...
刘建涛钟结实王春洪徐冬
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一种基于串级控制的微环境压力调度方法
一种基于串级控制的微环境压力调度方法包括根据物料供应环境系统特点建立传递函数反应模型；引入参考输入偏差积分系统，建立增广状态状态方程；获取该环境系统系统状态反馈调节控制律；通过物料供应系统的闭环特征方程式求得控制律参数；...
刘建涛钟结实王春洪徐冬
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晶盒仓储柜搁架的配置方法
本发明公开了一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，包括以下步骤：步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；步骤S2、控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；步骤S3、控制单元发出命令控制机械手取放晶...
钟结实黄扬君刘建涛王亚宁
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半导体取放设备耐久性的检测方法
本发明公开了一种半导体取放设备耐久性的检测方法，包括取放设备执行硅片盒以及硅片的取放动作，检测系统的控制单元驱动数据采集单元采集第一伸缩传感器、第一旋转传感器、第二伸缩传感器、第二旋转传感器、第一位置传感器以及第二位置传...
贾轶群刘建涛钟结实张立超
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