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韩雷刚

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇中间层
  • 3篇回收
  • 3篇分配器
  • 2篇药液
  • 2篇药液温度
  • 2篇湿法
  • 2篇湿法处理
  • 2篇气口
  • 2篇气源
  • 2篇前馈
  • 2篇自动化
  • 2篇自动化控制
  • 2篇自动化控制技...
  • 2篇污染
  • 2篇内层
  • 2篇控制技术
  • 2篇环状
  • 2篇机械手
  • 2篇加热功率
  • 2篇补液

机构

  • 8篇北京七星华创...

作者

  • 8篇韩雷刚
  • 5篇张晓红
  • 5篇张豹
  • 2篇昝威
  • 2篇裴立坤
  • 2篇李曼
  • 2篇李春彦
  • 1篇王广明
  • 1篇赵宏宇

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2009
  • 1篇2007
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种保持盘状物的装置及方法
本发明涉及一种保持盘状物的装置及方法，该装置中的载体上设置有用于轴向固定盘状物的凸出部件，凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面四周之间产生空间；载体上表面周边设有与气源连接的吹气口，气体通过吹气口吹向盘状物的下表面...
韩雷刚张豹张晓红王锐廷
文献传递
用湿法处理盘状物的装置及方法
本发明涉及一种用湿法处理盘状物的装置及方法，包括用于承载盘状物以及使其旋转的载体，在载体的上方设置有分配器，分配器用于将液体分配在盘状物的至少一个表面上，在载体的外围设有环状液体收集器，载体位于环状液体收集器的环口附近，...
张豹韩雷刚张晓红赵宏宇王锐廷
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一种保持盘状物的装置及方法
本发明涉及一种保持盘状物的装置及方法，该装置中的载体上设置有用于轴向固定盘状物的凸出部件，凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面四周之间产生空间；载体上表面周边设有与气源连接的吹气口，气体通过吹气口吹向盘状物的下表面...
韩雷刚张豹张晓红王锐廷
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用于处理平面盘状物的装置及方法
本发明涉及一种用湿法处理盘状物的装置及方法，包括用于承载盘状物以及使其旋转的载体，在载体的上方设置有分配器，在载体的外围设有环状液体收集器，载体位于环状液体收集器的环口附近，在环状液体收集器中设有内层、外层和至少一个中间...
张豹韩雷刚张晓红王锐廷
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一种清洗单硅片的方法及装置
本发明涉及一种单硅片的清洗方法及装置，方法主要包括以下步骤：1.设置带超声或兆声发生器的清洗液喷射装置；2.装配直线移动装置；3.设置单硅片水平旋转装置；4.设置直线移动装置和水平旋转装置的速度；5.建立方程组，通过解方...
韩雷刚王锐廷郭训容刘效桢王广明
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用于处理平面盘状物的装置及方法
本发明涉及一种用于处理平面盘状物的装置及方法，包括用于承载盘状物以及使其旋转的载体，在载体的上方设置有分配器，在载体的外围设有环状液体收集器，载体位于环状液体收集器的环口附近，在环状液体收集器中设有内层、外层和至少一个中...
张豹韩雷刚张晓红王锐廷
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清洗药液的前馈温度控制方法
本发明涉及一种清洗药液的前馈-串级温度控制方法，属于自动化控制技术领域。为了提高药液温度控制方法的抗扰动能力，该方法包括如下步骤：在药液存储槽底部位置设置第一温度传感器及前馈控制器，在加热器的出口处设置第二温度传感器，在...
李春彦李曼韩雷刚裴立坤昝威
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清洗药液的前馈温度控制方法
本发明涉及一种清洗药液的前馈-串级温度控制方法，属于自动化控制技术领域。为了提高药液温度控制方法的抗扰动能力，该方法包括如下步骤：在药液存储槽底部位置设置第一温度传感器及前馈控制器，在加热器的出口处设置第二温度传感器，在...
李春彦李曼韩雷刚裴立坤昝威
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