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张豹

作品数：82 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：金属学及工艺文化科学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 82篇中文专利

领域

  • 7篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 32篇卡盘
  • 30篇夹持
  • 20篇硅片
  • 19篇晶片
  • 16篇机械手
  • 13篇半导体
  • 10篇旋转轴
  • 10篇转轴
  • 9篇种盘
  • 9篇晶圆
  • 8篇电路
  • 8篇集成电路
  • 8篇半导体晶片
  • 7篇湿法
  • 7篇污染
  • 6篇气源
  • 6篇卡爪
  • 6篇硅片清洗
  • 5篇清洗工艺
  • 5篇清洗技术

机构

  • 82篇北京七星华创...

作者

  • 82篇张豹
  • 38篇吴仪
  • 23篇王波雷
  • 22篇姬丹丹
  • 18篇李伟
  • 17篇张晓红
  • 14篇王浩
  • 13篇赵宏宇
  • 6篇李广义
  • 6篇裴立坤
  • 5篇韩雷刚
  • 5篇刘伟
  • 4篇高浩
  • 4篇孙文婷
  • 3篇刘效岩
  • 3篇朱攀
  • 3篇初国超
  • 3篇何金群
  • 3篇马嘉
  • 3篇刘福生

年份

  • 1篇2018
  • 7篇2017
  • 4篇2016
  • 19篇2015
  • 12篇2014
  • 17篇2013
  • 13篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 4篇2009
共 82 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种喷淋装置
本发明公开了一种喷淋装置，包括：喷淋头、旋转执行机构、升降执行机构和用于容纳喷淋药液的盛接槽，所述喷淋头通过旋转执行机构与升降执行机构连接。本发明的喷淋装置，可使整个清洗工艺过程连贯，减少制造成本、以及设备故障发生率并且...
王波雷吴仪李伟王浩张豹
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一种具有限位结构的盘状物夹持装置
本发明公开了一种盘状物夹持装置，包括放置盘状物的旋转卡盘；带动旋转卡盘旋转的旋转轴；以及驱动旋转轴旋转的驱动机构。旋转卡盘包括基体，设于基体周缘的夹持元件，环形体以及限位结构。夹持元件包括主体部及夹持部，主体部自旋转而使...
姬丹丹王锐廷马嘉王波雷张豹
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用于薄片盘状物的清洗装置及方法
本发明提供了一种用于薄片盘状物的清洗装置及方法，属于半导体工艺制造领域，在工艺腔内设置低速收集环和至少一个高速收集环，通过调整高速收集环的高低档位，在工艺腔内划分不同的排液通道，减少清洗介质因交叉污染对硅片清洗工艺带来不...
王波雷张豹朱攀王锐廷
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一种多层存储台装置
本发明公开了一种多层存储台装置，其调平底座包括位于下层的支撑板，位于上层的调节板，设于支撑板和调节板之间的调平部件，以及固定支撑板和调节板的锁紧部件；其支撑脚支撑为成对的支撑脚支撑架，调节板通过一对相向设置的连接侧板与所...
李广义王锐廷赵宏宇张豹裴立坤
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晶圆处理设备（多腔室堆栈式）
1.本外观设计产品的名称：晶圆处理设备（多腔室堆栈式）。;2.本外观设计产品的用途：用于铜工艺的互连阶段，多孔性低介电常数材料集成的清洗。;主要去除光刻胶残留、颗粒、通孔内的有机聚合物以及硅片边沿和背面的铜金属。;3.本...
赵宏宇孙文婷张豹王锐廷初国超
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半导体晶圆制造装置
本发明公开了一种半导体晶圆制造装置，涉及半导体晶圆制造技术领域，包括：至少两个机械手(1)、至少一套化学与气源分配系统(2)和多个风循环过滤系统(3)，所述风循环过滤系统(3)分为前部区域、中部区域和侧部区域，所述前部区...
赵宏宇张晓红裴立坤张豹王锐廷
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一种排风装置
本发明涉及硅片湿法清洗领域，尤其涉及一种排风装置。该排风装置包括底腔、兆声波装置盛液槽、兆声波装置盛液槽固定支架、夹层及排风调整单元，所述底腔固定于所述夹层顶部，所述兆声波装置盛液槽通过兆声波装置盛液槽固定支架固定于所述...
王波雷王锐廷张豹姬丹丹
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化学药液分配系统及其流量控制方法
本发明公开了一种化学药液分配系统，包括：储液罐，具有回液入口和出液口；化学药液循环管线，一端与回液入口相连，另一端与出液口相连，该化学药液循环管线上设有循环泵；化学药液输出管线，一端与化学药液循环管线相连，另一端与工艺单...
何金群王锐廷张豹
一种保持盘状物的装置及方法
本发明涉及一种保持盘状物的装置及方法，该装置中的载体上设置有用于轴向固定盘状物的凸出部件，凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面四周之间产生空间；载体上表面周边设有与气源连接的吹气口，气体通过吹气口吹向盘状物的下表面...
韩雷刚张豹张晓红王锐廷
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一种平衡硅片夹持机构
本发明公开了一种平衡硅片夹持机构，包括：旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘，所述卡盘包括三个夹持臂，其中两个所述夹持臂的端部为固定夹持元件，另一个所述夹持臂的端部为可调夹持件；所述可调夹持件可相对与所述卡盘的连接点摆...
凯里·雷李伟张豹吴仪王锐廷
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