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彭文芳

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇中文专利

主题

  • 5篇前驱物
  • 4篇硅片
  • 3篇真空系统
  • 3篇温度梯度
  • 3篇化学吸附
  • 3篇硅片表面
  • 2篇电偶
  • 2篇原子层沉积
  • 2篇真空
  • 2篇伸缩性
  • 2篇排气
  • 2篇排气系统
  • 2篇批处理
  • 2篇热电偶
  • 2篇装卸
  • 2篇开槽
  • 2篇波纹管
  • 2篇测温
  • 2篇测温热电偶
  • 2篇沉积速率

机构

  • 9篇北京七星华创...

作者

  • 9篇彭文芳
  • 4篇常青
  • 4篇潘龙
  • 4篇赵星梅
  • 3篇刘东
  • 3篇李春雷
  • 2篇马超
  • 1篇陈添明

年份

  • 1篇2016
  • 3篇2014
  • 1篇2013
  • 4篇2012
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
用于原子层薄膜沉积的反应装置
本实用新型提供一种用于原子层薄膜沉积的反应装置，属太阳能电池制造装配和加工技术领域，包括依次连接的反应沉积腔、反应排空腔和真空系统；所述反应沉积腔内包括硅片承载单元、加热单元、前驱物进料单元、吹扫气体进气单元；本实用新型...
潘龙刘东彭文芳常青
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可扩展的反应腔室
本实用新型公开了一种可扩展的反应腔室，涉及机械设计技术领域，所述反应腔室包括：前门板和后门板，所述前门板和后门板之间设有至少一个模块化腔室。本实用新型通过在前门板、后门板和所述前门板和后门板之间设有的至少一个模块化腔室上...
彭文芳李春雷常青克雷格·伯考
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一种在线原子层沉积装置和沉积方法
一种在线原子层沉积装置，包括基板送料系统、加工腔室、前驱物送料系统、至少一个装卸元件、提升元件、控制与检测系统、排气系统，其中所述基板送料系统将基板送入所述加工腔室，所述前驱物送料系统设置在加工腔室侧面，所述装卸元件设置...
赵星梅盛金龙彭文芳李春雷
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真空测温热电偶装置
本实用新型公开了一种真空测温热电偶装置，包括：热电偶和波纹管装置，所述波纹管装置套设在热电偶冷端的外围。本实用新型的真空测温热电偶装置结合了普通热电偶和波纹管的特性，利用波纹管来控制热电偶与待测物体的接触，能准确测量真空...
赵星梅克雷格·伯考马超彭文芳
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真空测温热电偶装置
本发明公开了一种真空测温热电偶装置，包括：热电偶和波纹管装置，所述波纹管装置套设在热电偶冷端的外围。本发明的真空测温热电偶装置结合了普通热电偶和波纹管的特性，利用波纹管来控制热电偶与待测物体的接触，能准确测量真空环境中弹...
赵星梅克雷格·伯考马超彭文芳
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一种用于原子层薄膜沉积的反应装置及方法
本发明提供一种用于原子层薄膜沉积的反应装置及方法，属太阳能电池制造装配和加工技术领域，包括依次连接的反应沉积腔、反应排空腔和真空系统；所述反应沉积腔内包括硅片承载单元、加热单元、前驱物进料单元、吹扫气体进气单元；本发明通...
潘龙刘东彭文芳常青
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一种在线原子层沉积装置
本实用新型公开了一种在线原子层沉积装置，包括基板送料系统、加工腔室、前驱物送料系统、至少一个装卸元件、提升元件、控制与检测系统、排气系统，其中所述基板送料系统将基板送入所述加工腔室，所述前驱物送料系统设置在加工腔室侧面，...
赵星梅盛金龙彭文芳李春雷
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一种原子层薄膜沉积进气装置
本实用新型涉及原子层薄膜沉积技术领域，公开了一种原子层薄膜沉积进气装置。该原子层薄膜沉积进气装置包括：接头、接管和第一导流管；所述接管分别与所述第一接头和所述第一导流管连通，所述第一导流管两端分别安装有第一堵盖和第二堵盖...
潘龙陈添明彭文芳
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一种用于原子层薄膜沉积的反应装置及方法
本发明提供一种用于原子层薄膜沉积的反应装置及方法，属太阳能电池制造装配和加工技术领域，包括依次连接的反应沉积腔、反应排空腔和真空系统；所述反应沉积腔内包括硅片承载单元、加热单元、前驱物进料单元、吹扫气体进气单元；本发明通...
潘龙刘东彭文芳常青
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