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王喆

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 5篇氧化炉
  • 3篇水冷
  • 3篇水冷却
  • 3篇位置控制
  • 3篇膜厚
  • 3篇膜厚均匀性
  • 3篇均匀性
  • 2篇密封
  • 2篇密封腔
  • 2篇缓冲器
  • 1篇循环风机
  • 1篇压力计
  • 1篇圆筒形
  • 1篇排气
  • 1篇排气口
  • 1篇气道
  • 1篇气口
  • 1篇气源
  • 1篇热交换
  • 1篇热交换器

机构

  • 5篇北京七星华创...

作者

  • 5篇王喆
  • 5篇钟华
  • 3篇董金卫
  • 3篇赵星梅
  • 2篇张豹
  • 1篇林松

年份

  • 1篇2012
  • 3篇2010
  • 1篇2009
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
300mm立式氧化炉微环境压力控制系统
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉微环境压力控制系统，设有与微环境连通的风机，其进气管通过一个流量计MFC和一个自控阀门PV2与工艺气源连通；风机还通过一个自控阀门PV1直接与气源连通，并通过一个自控阀门PV3与厂...
钟华张豹卢言晓王喆赛义德·赛迪靳永毅
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300mm立式氧化炉石英舟旋转装置
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉石英舟旋转装置，设有步进电机，石英舟的下方设有SiC转盘，在该SiC盘的底部中央设有固定轴，固定轴的下端设有带轮，该带轮通过传动带与步进电机传动连接；在固定轴的下部设有舟旋转定位装...
钟华赵星梅董金卫王喆赛义德·赛迪
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300mm立式氧化炉石英舟旋转装置
本发明公开了一种300mm立式氧化炉石英舟旋转装置，设有步进电机，石英舟的下方设有SiC转盘，在该SiC盘的底部中央设有固定轴，固定轴的下端设有带轮，该带轮通过传动带与步进电机传动连接；在固定轴的下部设有舟旋转定位装置，...
钟华赵星梅董金卫王喆赛义德·赛迪
300mm立式氧化炉净化冷却系统
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉净化冷却系统，其特征在于：设有倒U字形气道，该气道由相互连通的圆筒形横向气道(1)和扁平形左、右侧气道(2、3)组成，在横向气道内设有循环风机(1.1)，该气道上还设有空气补给阀(...
钟华张豹王喆林松赛义德·赛迪
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用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉石英舟旋转装置
本发明公开了一种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉石英舟旋转装置，设有步进电机，石英舟的下方设有SiC转盘，在该SiC盘的底部中央设有固定轴，固定轴的下端设有带轮，该带轮通过传动带与步进电机传动连接；在固定轴的下部设...
钟华赵星梅董金卫王喆赛义德·赛迪
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