您的位置： 专家智库 > >

王剑

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京京东方光电科技有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇热膨胀
  • 1篇热膨胀系数
  • 1篇加热板
  • 1篇半导体
  • 1篇薄膜沉积技术

机构

  • 1篇北京京东方光...

作者

  • 1篇王剑
  • 1篇刘远宏
  • 1篇李晓飞
  • 1篇陈万海

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
一种薄膜沉积设备和均热板
本实用新型提供了一种薄膜沉积设备和均热板，涉及半导体技术领域，为减少反应腔室内的杂质微粒而设计。所述薄膜沉积设备，包括反应腔室，所述反应腔室内设置有加热板，所述加热板上设置有均热板，所述均热板远离所述加热板的上表面上设置...
李晓飞陈万海王剑刘远宏
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0