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庄志诚

作品数:16 被引量:37H指数:4
供职机构:上海交通大学更多>>
发文基金:上海市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:理学电子电信化学工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 16篇中文期刊文章

领域

  • 8篇理学
  • 5篇电子电信
  • 4篇化学工程
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇冶金工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程

主题

  • 9篇金刚石薄膜
  • 6篇金刚石
  • 6篇刚石
  • 3篇丙酮
  • 2篇铁电
  • 2篇铁电体
  • 2篇氢气
  • 2篇热解
  • 2篇拉曼
  • 2篇反应气体
  • 2篇CVD法
  • 1篇电场
  • 1篇电弧
  • 1篇电弧放电
  • 1篇多晶
  • 1篇选择性
  • 1篇振动模
  • 1篇散射
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射

机构

  • 13篇上海交通大学
  • 4篇中国科学院上...
  • 3篇中国科学院
  • 2篇复旦大学

作者

  • 16篇庄志诚
  • 9篇张志明
  • 6篇李胜华
  • 5篇丁正明
  • 3篇洪爱玲
  • 2篇罗维根
  • 2篇王添平
  • 2篇解健芳
  • 2篇丁爱丽
  • 2篇王渭源
  • 2篇竺品芳
  • 2篇谭淞生
  • 2篇金晓峰
  • 2篇张伟东
  • 2篇章熙康
  • 1篇冯楚德
  • 1篇李新元
  • 1篇林成鲁
  • 1篇林栋梁
  • 1篇陈念贻

传媒

  • 6篇人工晶体学报
  • 2篇无机材料学报
  • 2篇微细加工技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇金属学报
  • 1篇物理学报
  • 1篇中国科学(A...
  • 1篇上海交通大学...
  • 1篇光散射学报

年份

  • 1篇1999
  • 1篇1996
  • 3篇1995
  • 1篇1994
  • 1篇1993
  • 5篇1991
  • 3篇1990
  • 1篇1989
16 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
纳米薄膜PLT的拉曼散射
1995年
纳米薄膜PLT的拉曼散射庄志诚,张晴(上海交通大学上海200030)丁爱丽,罗维根,李辉,陈先同(中国科学院上海硅酸盐研究所上海200050)从Kanzig等报导了精细颗粒的铁电材料的介电性质以来,已经多次发现铁电薄膜和超细晶粒的结构特征,物理和化学...
庄志诚张晴丁爱丽罗维根李辉陈先同
关键词:PLF拉曼散射振动模
金刚石薄膜的选择性生长被引量:4
1990年
本文提出了一种利用表面处理状态的差异进行选择性生长,制备多晶金刚石薄膜图形的新方法,得到的薄膜线条宽约8μm,晶粒堆砌致密,大都显露三角形(111)面,其金刚石结构得到了拉曼光谱的确认。
张志明李胜华张冬喜庄志诚林栋梁
关键词:金刚石选择性
热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性
1990年
本文研究了热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性,在结晶过程中金刚石的(111)、(100)和(110)三个晶面经过激烈竞争后均有显露,通常情况下(111)和(100)二个晶面发育得较完整,相继显露的几率也最大。
李胜华张志明李辉只庄志诚丁正明
关键词:金刚石热解CVD法多晶
射频磁控溅射制备纳米PLT薄膜的研究被引量:1
1994年
用射频磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备出纳米级PLZT薄膜.XRD、TEM分析表明,薄膜为纯钙钛矿结构,平均粒径为2~5nm.Raman光谱表明,纳米级晶粒尺寸使得薄膜的Raman峰向低波数方向移动.
李晖罗维根陈先同丁爱丽庄志诚
关键词:纳米铁电体射频磁控溅射
退火处理对PMN弛豫铁电体B位有序性研究
1999年
本文采用退火热处理方法, 利用高分辨透射电镜( H R E M) 、选区电子衍射( S A E D) 、 Raman 光谱等技术对 P M N 中 B 位离子有序无序结构与微区化学组成的关系进行分析研究表明, 退火热处理有助于 B 位离子有序化; 并且 B
李新元冯楚德李承恩庄志诚
关键词:弛豫铁电体化学键退火PMN
微波PCVD合成金刚石薄膜
1991年
作者以丙酮和氢气作为反应气体,用微波PCVD法合成出金刚石薄膜。微波源的频率为2.45GHz,反应室为外径φ40的石英玻璃管。典型的生长条件是压力5~50Torr、总流量100SCCM、丙酮浓度0.4~2Vol%、微波功率约300W。在反应过程中,基片由于受到放电区各种活性粒子的冲击、温度可高达700~900℃。
张志明洪爱玲庄志诚竺品芳
关键词:丙酮反应气体石英玻璃管氢气
电弧放电等离子体CVD快速生长金刚石薄膜
1991年
本文通过在自行设计的装置中,用丙酮作为有机源,并和氢气、氩气相混合作为反应气体,用钨棒为放电电极,在数kPa的气压以及一万多伏高压下直流起弧,并在10A与70V条件下稳定的等离子体放电,产生5000℃以上高温,分解反应气体,在硅片上快速生长出薄膜。
丁正明庄志诚张伟东张志明
关键词:反应气体丙酮
微波 PCVD 法生长金刚石薄膜被引量:1
1993年
本文论述了微波等离子体化学汽相沉积(PCVD)法生长的金刚石薄膜的结构表征、影响因素和生长规律。和热丝 CVD 一样,用微波 PCVD 法也能得到结构与天然金刚石十分吻合的多晶薄膜。薄膜的生长除了受碳源浓度、基片温度的影响外,还受到气体压力、基片电学性质和放置方式等因素的强烈影响。拉曼谱上1430cm^(-1)峰的起因与溅射现象有关。
张志明洪爱玲蔡琦玉庄志诚竺品芳李胜华
关键词:金刚石微波化学汽相沉积
交变电场辅助的微波CVD金刚石成核研究被引量:1
1995年
报道了一种新的适用于在绝缘衬底上生长金刚石薄膜的方法,利用在直流电压上叠加交流成分,作为微波等离子体的电场偏置,成功地在SiO_2衬底上首次实现了>10~8cm^(-2)的金刚石成核。实验结果表明,金刚石薄膜的成核密度与偏压中交流信号的频率和幅度以及直流信号的幅度存在密切的关系。
毛敏耀金晓峰王添平解健芳章熙康谭淞生王渭源庄志诚
关键词:微波等离子体金刚石薄膜电场
全文增补中
人造金刚石衬底上生长金刚石
1991年
本文采用热灯丝CVD法进行合成金刚石单晶的实验研究,以丙酮有机化合物为碳源,使液态丙酮气化的氢气作为反应气体,灯丝加热至2000-2300℃,当用金刚石单晶作衬底时,可外延生长。实验在高温高压法生长的尺寸为14μm无规则外形的金刚石微粒上生长。
李胜华张志明庄志诚
关键词:丙酮CVD法氢气
共2页<12>
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