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洪爱玲

作品数：5 被引量：5H指数：1
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：上海市自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇化学工程
  • 2篇电子电信
  • 2篇理学

主题

  • 5篇金刚石薄膜
  • 2篇CVD
  • 1篇石英玻璃
  • 1篇石英玻璃管
  • 1篇气相沉积
  • 1篇气相法
  • 1篇汽相沉积
  • 1篇氢气
  • 1篇热解
  • 1篇微波
  • 1篇微波等离子体
  • 1篇金刚石
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇化学汽相沉积
  • 1篇反应气体
  • 1篇刚石
  • 1篇PCVD
  • 1篇丙酮
  • 1篇玻璃管

机构

  • 5篇上海交通大学

作者

  • 5篇洪爱玲
  • 4篇张志明
  • 3篇庄志诚
  • 2篇李胜华
  • 2篇竺品芳
  • 1篇丁正明

传媒

  • 2篇人工晶体学报
  • 1篇上海交通大学...
  • 1篇上海硅酸盐

年份

  • 1篇1993
  • 1篇1992
  • 2篇1991
  • 1篇1990
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
微波等离子体CVD合成金刚石薄膜
1992年
张志明洪爱玲
关键词：化学气相沉积微波等离子体CVD金刚石薄膜
微波PCVD合成金刚石薄膜
1991年
作者以丙酮和氢气作为反应气体,用微波PCVD法合成出金刚石薄膜。微波源的频率为2.45GHz,反应室为外径φ40的石英玻璃管。典型的生长条件是压力5~50Torr、总流量100SCCM、丙酮浓度0.4~2Vol%、微波功率约300W。在反应过程中,基片由于受到放电区各种活性粒子的冲击、温度可高达700~900℃。
张志明洪爱玲庄志诚竺品芳
关键词：丙酮反应气体石英玻璃管氢气
微波 PCVD 法生长金刚石薄膜被引量：1
1993年
本文论述了微波等离子体化学汽相沉积(PCVD)法生长的金刚石薄膜的结构表征、影响因素和生长规律。和热丝 CVD 一样,用微波 PCVD 法也能得到结构与天然金刚石十分吻合的多晶薄膜。薄膜的生长除了受碳源浓度、基片温度的影响外,还受到气体压力、基片电学性质和放置方式等因素的强烈影响。拉曼谱上1430cm^(-1)峰的起因与溅射现象有关。
张志明洪爱玲蔡琦玉庄志诚竺品芳李胜华
关键词：金刚石微波化学汽相沉积
气相法生长金刚石薄膜过程和热解 CVD 实验被引量：4
1990年
本文简述了气相法生长金刚石薄膜的基本过程,论述了反应气体系统及碳源浓度、激活源、基片温度和预处理等参数对金刚石结构和性能的重要影响.
张志明丁正明万锃庄志诚洪爱玲李胜华
关键词：金刚石薄膜气相法
微波等离子体CVD法合成金刚石薄膜及其半导体化
洪爱玲
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共1页<1>
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